[发明专利]力检测装置、机械手、以及移动体

权利要求书

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：

电荷输出元件，其根据外力来输出电荷；

转换输出电路，其具有第一电容器，且将所述电荷转换为电压并输出所述电压；

补偿用信号输出电路，其具有第二电容器，并输出补偿用信号；以及

外力检测电路，其基于从所述转换输出电路输出的所述电压、和从所述补偿用信号输出电路输出的所述补偿用信号，来检测所述外力，

其中，所述第二电容器的静电容量比所述第一电容器的静电容量小。

2.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

在将所述第一电容器的所述静电容量设为C1、将所述第二电容器的所述静电容量设为C2时，C2／C1为0.1～0.8。

3.根据权利要求1或者2所述的力检测装置，其特征在于，

所述外力检测电路具有增益校正部，该增益校正部对从所述转换输出电路输出了的所述电压、和从所述补偿用信号输出电路输出了的所述补偿用信号的至少一方赋予增益来进行校正，

所述外力检测电路基于通过所述增益校正部校正后的所述电压和所述补偿用信号，来检测所述外力。

4.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一元件以及第二元件，其根据外力来输出电压；和

外力检测电路，其基于从所述第一元件以及所述第二元件输出了的所述电压，来检测所述外力，

所述第一元件以及所述第二元件具有：

压电体，其具有电轴，根据沿着所述电轴的所述外力来输出电荷；和

转换输出电路，其将从所述压电体输出了的所述电荷转换为所述电压，

其中，所述第一元件以及所述第二元件被配置成所述第一元件的所述压电体具有的所述电轴的方向与所述第二元件的所述压电体所具有的所述电轴的方向朝向相互相反的方向。

5.根据权利要求4所述的力检测装置，其特征在于，

对于所述第一元件以及所述第二元件而言，所述第一元件的所述压电体的所述电轴的方向与所述第二元件的所述压电体的所述电轴的方向在同一轴上相互对置。

6.根据权利要求4或者5所述的力检测装置，其特征在于，

所述各压电体分别具有：

第一压电板，其具有第一晶轴；

第二压电板，其与所述第一压电板对置地设置，并具有第二晶轴；以及

内部电极，其设置在所述第一压电板与所述第二压电板之间，

其中，所述第一压电板的所述第一晶轴与所述第二压电板的所述第二晶轴极性不同。

7.根据权利要求4～6中的任意一项所述的力检测装置，其特征在于，

所述外力检测部通过获取从所述第一元件以及所述第二元件输出了的所述电压的差量，来检测对所述力检测装置施加的所述外力。

8.根据权利要求4～7中的任意一项所述的力检测装置，其特征在于，

在将所述压电体的层叠方向设为γ轴方向、将与所述γ轴方向正交且相互正交的方向分别设为α轴方向、β轴方向的情况下，

所述压电体之一是根据沿着所述α轴方向的所述外力来输出所述电荷的α轴用压电体，

所述压电体之一是根据沿着所述β轴方向的所述外力来输出所述电荷的β轴用压电体，

所述压电体之一是根据沿着所述γ轴方向的所述外力来输出所述电荷的γ轴用压电体。

9.根据权利要求8所述的力检测装置，其特征在于，

所述力检测装置具有两个所述第一元件、和两个所述第二元件，

一个所述第一元件以及一个所述第二元件的所述α轴用压电体的所述电轴的方向朝向与另一个所述第一元件以及另一个所述第二元件的所述α轴用压电体的所述电轴的方向相反的方向，

所述一个第一元件以及所述一个第二元件的所述γ轴用压电体的所述电轴的方向朝向与所述另一个第一元件以及所述另一个第二元件的所述γ轴用压电体的所述电轴的方向相反的方向。

10.根据权利要求1～9中的任意一项所述的力检测装置，其特征在于，

所述力检测装置具备赋予所述外力的、底板和与所述底板分离地设置的盖板，

所述各元件设置在所述底板与所述盖板之间。

11.根据权利要求9所述的力检测装置，其特征在于，

所述各元件沿着所述底板或者所述盖板的周向以等角度间隔配置。