[发明专利]强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种腐蚀液体的排放阀门，特别是涉及一种半导体、LED芯片制造领域的用于湿法清洗设备的强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀。

背景技术

随着半导体、LED芯片制造技术的不断发展，高温的强腐蚀性化学液在芯片腐蚀、清洗的湿法清洗设备中普遍被使用。这些用于腐蚀半导体、LED芯片的化学液一般都是在石英缸中加热达到210℃以上工作温度的高浓度强酸（98%的浓硫酸）。这些高温高浓度强酸在生产线上需要解决的问题是如何将使用后的高温废液通过管道以及阀门排放到厂务酸处理系统中去。目前国内、外市场上还没有既能耐强酸腐蚀又能耐210℃以上高温的此类排放阀；另外，厂房的废液回收管道最高可耐温80℃，如果直接排放210℃废液，管道不能承受，因此需要降温排放。国内、外传统降温排放办法都是将化学废液自然降温至50℃以下后，再利用气动隔膜泵或者虹吸泵将高浓度废液吸出至厂房的废液回收管道排放掉。由于石英加热缸的外面设有保温层，废液在石英加中由210℃自然降温至50℃以下需要六至七小时，降温时间长，延误生产时间，严重降低生产效率；另外，无论是用气动隔膜泵还是虹吸泵吸取废液，一方面石英缸中的废液吸取排除不干净，残留有废液；另一方面需要用人工将吸液管放入石英缸中，这种人工作业存在人身伤害风险。

发明内容

本发明的目的是给出一种结构简单、不会发生强酸人身伤害，不用泵吸取，可直接流通石英缸中的强腐蚀性高温化学液，且流放时间短、不留有残液的强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀。

本发明的目的是能够实现的。本发明的强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀包括一个置换阀体和一个气动阀体，所述置换阀体成四方体，置换阀体上纵向设有三个螺栓穿插孔，置换阀体的纵向中心设有一个从左向右直径依次递增的由三阶梯孔构成的置换孔，所述气动阀体成圆柱体，所述气动阀体的左端开有三个与置换阀体的螺栓穿插孔形位对应的螺纹孔，气动阀体的中心设有一个从右向左直径依次减小的由三阶梯孔构成的通孔，气动阀体的通孔与置换阀体的置换孔同轴心且气动阀体的小直径孔与置换阀体的大直径孔孔径基本相等，所述置换阀体右端的平面与所述气动阀体左端的平面紧密贴合且通过螺栓穿插孔以及螺纹孔由三个穿插螺栓连接固定成一体，所述置换阀体置换孔的中直径孔、大直径孔和气动阀体通孔的小直径孔、中直径孔中共同设置有一个从左向右直径依次递增的成三阶梯轴的阀芯，所述阀芯由小直径部分、中直径部分和活塞部分构成，阀芯的小直径部分处在置换阀体置换孔的中直径孔中，中直径部分处在置换孔的大直径孔以及气动阀体通孔的小直径孔中，活塞部分处在通孔的中直径孔中，所述气动阀体大直径孔右端通过胀圈固定一个端盖，所述端盖的左端与阀芯活塞部分的右端之间设有一个弹簧，所述置换阀体上开设有一个废液进口、一个冷却水进口、一个废液稀释排放口和一个装有密封堵头的工艺口，所述废液进口与所述置换孔左端的小直径孔连通，所述工艺孔与置换孔的中直径孔连通，所述工艺孔还与冷却水进口和废液稀释排放口连通，所述气动阀体上分别开有一个与阀芯活塞部分的左腔连通的开启空气进出口和与右腔连通的闭合空气进出口，所述阀芯小直径部分左端与置换孔的小直径孔右端成阀门启闭结构配合副。

本发明强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，其中所述置换阀体右端平面与气动阀体右端平面贴合处设有一个与置换孔的中直径孔连通的通气孔。

本发明强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，其中所述置换阀体置换孔的中直径孔、小直径孔和气动阀体通孔的小直径孔、中直径孔中共同设置的阀芯在其孔中具有一个直线的开启或者闭合运动轨迹。

本发明强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，其中所述阀芯左端小直径部分的端头为锥体，锥体部分与置换孔的小直径孔右端孔口贴合为阀门关闭状态，锥体部分与置换孔小直径孔右端孔口张开为排放废液的阀门打开状态。

本发明强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，其中所述阀芯小直径部分与置换孔的中直径孔壁之间设有密封圈，中直径部分与气动阀体的小直径孔壁之间设有密封圈，活塞部分与气动阀体的中直径孔壁之间设有密封圈，端盖与气动置换阀体之间设有密封圈。

本发明强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，其中所述置换阀体、阀芯均由PTFE材料制造，所述气动阀体、阀盖由PVC材料制造。