[发明专利]表面处理装置

说明书

本申请为在先申请（申请日：2011年6月30日，申请号：201110181552.3，发明名称：表面处理装置）的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种连续电镀装置等表面处理装置。

背景技术

作为表面处理装置、例如对工件表面进行电镀处理的电解电镀处理装置，公知的有在电镀槽内连续地运送电路基板等工件的连续电镀处理装置。工件由沿着供电轨道运送的运送夹具下垂地保持。工件一边被供电轨道经由运送夹具供电一边在电镀槽内连续地运送。在电镀槽中成为阴极的工件运送路径的两侧配置有阳极。从而在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电气分解，对工件表面进行电镀。

在此，公知的有取代在电镀槽的上方配置了供电轨道的构造（专利文献1），而在从电镀槽的上方离开的位置与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造（专利文献2）。这样一来，能够防止运送夹具在供电轨道上滑动时所产生的粉尘下落并混入电镀槽内。

【专利文献1】日本专利第3025254号公报

【专利文献2】日本专利第3591721号公报

当如专利文献2那样将供电轨道配置在从电镀槽的上方离开的位置时，与专利文献1那样由供电轨道下垂地支撑运送夹具以及工件的形态不同，工件成为悬臂支撑状态。因此，运送夹具以及工件的重心从通过供电轨道的垂线上偏离。因此在运送夹具上作用有不需要的力矩。

因此，专利文献2所公开的运送夹具成为比专利文献1所公开的夹具复杂的构造。在专利文献2中，在供电轨道的侧面设有用于防止运送夹具脱落的偏离防止导轨，供电轨道的构造也复杂化。

发明内容

本发明的几个技术方案提供一种表面处理装置，改进了沿着配置在从电镀槽的上方离开的位置的纵剖面的轮廓为矩形的供电轨道运送的运送夹具的构造，尽管有力矩的作用也能够稳定地支撑运送夹具。

本发明的一个技术方案的表面处理装置的特征在于，具有：表面处理槽；供电轨道，在从上述表面处理槽的上方离开的位置与上述表面处理槽的长度方向平行地延伸设置；多个运送夹具，配置在上述表面处理槽内，分别保持工件，由上述供电轨道支撑；以及连续运送机构，沿着上述供电轨道连续运送上述多个运送夹具；上述供电轨道在纵剖面上包括上表面、下表面、上述表面处理槽侧的第1侧面，和与上述第1侧面对向的第2侧面；上述多个运送夹具的每一个具有：被导向部，由上述供电轨道导向；连结部，从上述被导向部一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸；以及保持部，与上述连结部的上述自由端部相连，保持工件为下垂状态；上述被导向部具有：被供电部，与上述供电轨道的上述上表面接触；至少一个第1滚子，与上述供电轨道的上述第1侧面滚动接触；至少一个第2滚子，与上述供电轨道的上述第2侧面滚动接触；以及被啮合部，与上述连续运送机构啮合；上述至少一个第1滚子与上述第1侧面滚动接触的第1高度位置比上述至少一个第2滚子与上述第2侧面滚动接触的第2高度位置低。

在本发明的一个技术方案中，在从表面处理槽的上方离开的位置设有与表面处理槽的长度方向平行地延伸设置的供电轨道，沿着该供电轨道运送运送夹具。因此，因供电轨道与运送夹具滑动接触所产生的粉尘不会下落到表面处理槽中。

而且，第1滚子与供电轨道的第1侧面滚动接触的第1高度位置H1比第2滚子与第2侧面滚动接触的第2高度位置H2低。这样一来，能够减小由于是悬臂支撑状态而始终作用有同一方向的弯矩M的运送夹具的倾斜角度。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述至少一个第1滚子与上述第1侧面的下端部滚动接触，上述至少一个第2滚子与上述第2侧面的上端部滚动接触。

这是由于第1滚子302的第1高度位置H1越低越好，与供电轨道的第1侧面的下端部滚动接触为好的缘故。关于弯矩M，第2滚子的第2高度位置H2并不重要，但在被导向部与供电轨道的上表面接触的关系上，将第2滚子配置在接近该被导向部的位置在取材的方面比较好。

在本发明的一个技术方案中，上述连结部在上端面与下端面之间垂直方向上具有厚度T，上述至少一个第2滚子的上述第2高度位置包含在上述连结部的上述上端面的高度位置与上述下端面的高度位置之间。

这样，通过在连结部的厚度T的范围内的第2高度位置H2使第2滚子与供电轨道的第2侧面滚动接触，能够降低起因于作用在第2滚子上的移动反作用力F的弯矩作用在连结部上的情况。