[发明专利]蒸镀机以及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及在制造有机发光二极体（Organic Light-Emitting Diode，简称OLED）时使用的蒸镀机以及蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极体是主要由有机材料涂层和基板（例如玻璃基板）构成，当有电流通过时，该有机材料就会发光。

目前，由于OLED显示屏幕可视角度大，并且能够显著节省电能，使得其在平板显示器领域得到了广泛的应用；其中，OLED的蒸镀技术是OLED规模生产的关键技术。

在OLED制造成本中，蒸镀机所蒸镀的有机材料占相当大的部分。现有的蒸镀机构成为在一个蒸镀腔体内搭配一个线性蒸镀源来在基板上蒸镀有机材料，由于从线性蒸镀源持续喷出有机材料，因此存在问题。即，当OLED基板在进行对位或搬运时，从线性蒸镀源所升华出的材料都不会沉积在基板上，蒸镀机的线性蒸镀源对有机材料利用率仅约15%，导致有机材料成本支出增加而使成本居高不下，并且对有机材料的使用率也降低，由此使OLED发展受到相当大的限制。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种蒸镀机以及蒸镀方法，能够显著提高对有机材料的利用率，降低成本。

技术方案1为一种蒸镀机，其特征在于，包括：

第一蒸镀腔体和第二蒸镀腔体，所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体彼此连通；

一个线性蒸镀源，所述线性蒸镀源能够在所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间移动。

技术方案2为如技术方案1所述的蒸镀机，特征在于，

具有一个镀率侦测器，所述镀率侦测器位于所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间，用于在所述线性蒸镀源移动到所述第一蒸镀腔体或所述第二蒸镀腔体之前对所述线性蒸镀源的镀率进行侦测。

技术方案3为如技术方案1或2所述的蒸镀机，特征在于，

所述线性蒸镀源通过滚珠螺杆机构在所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间移动。

技术方案4为如技术方案1或2所述的蒸镀机，特征在于，

具有第一机械手和第二机械手，

所述第一机械手用于向所述第一蒸镀腔体搬入未蒸镀的基板或从所述第一蒸镀腔体搬出蒸镀完的基板，

所述第二机械手用于向所述第二蒸镀腔体搬入未蒸镀的基板或从所述第二蒸镀腔体搬出蒸镀完的基板。

技术方案5为一种蒸镀方法，向基板蒸镀有机材料，其特征在于，包括：

第一步骤，在利用线性蒸镀源在第一腔体中对未蒸镀的基板蒸镀有机材料时，向第二腔体搬入未蒸镀的基板；

第二步骤，在所述第一腔体中完成对未蒸镀的基板的蒸镀后，搬出蒸镀完的基板，并使所述线性蒸镀源移动到所述第二腔体，来在所述第二腔体中对所述未蒸镀的基板蒸镀有机材料；

第三步骤，在利用所述线性蒸镀源在所述第二腔体中对未蒸镀的基板蒸镀有机材料时，向所述第一腔体搬入未蒸镀的基板，

第四步骤，在所述第二腔体中完成对未蒸镀的基板的蒸镀后，搬出蒸镀完的基板，并使所述线性蒸镀源移动到所述第一腔体中，来在所述第一腔体中对未蒸镀的基板蒸镀有机材料。

技术方案6为如技术方案5所述的蒸镀方法，特征在于，

在所述线性蒸镀源移动到所述第一蒸镀腔体或所述第二蒸镀腔体之前，利用一个镀率侦测器对所述线性蒸镀源的镀率进行侦测。

技术方案7为如技术方案5或6所述的蒸镀方法，特征在于，

所述线性蒸镀源通过滚珠螺杆机构在所述第一蒸镀腔体和所述第二蒸镀腔体之间移动。

技术方案8为如权利要求5或6所述的蒸镀方法，特征在于，

利用第一机械手向所述第一蒸镀腔体搬入未蒸镀的基板或从所述第一蒸镀腔体搬出蒸镀完的基板，

利用第二机械手用于向所述第二蒸镀腔体搬入未蒸镀的基板或从所述第二蒸镀腔体搬出蒸镀完的基板。

如上所述，在本发明中，由于利用两个蒸镀腔体和一个线性蒸镀源，因此能够使蒸镀机的结构简化，降低成本。并且，当在第一蒸镀腔体中进行蒸镀时，可以在第二蒸镀腔体中开始进行基板搬运与对位动作，在第一蒸镀腔体中的基板蒸镀完成时，线性蒸镀源可移至第二蒸镀腔体中蒸镀基板，反之，当在第二蒸镀腔体中进行蒸镀时，可以在第一蒸镀腔体中开始进行基板搬运与对位动作，在第二蒸镀腔体中的基板蒸镀完成时，线性蒸镀源可移至第一蒸镀腔体中蒸镀基板。由此，可将原先15%的有机材料利用率提升至30%，并将产能提升一倍，有效降低OLED制造成本。

附图说明

图1是表示本发明的蒸镀机的结构的示意图。