[发明专利]有机发光二极管膜层图案的制造方法及其制造治具在审
申请号: | 201410050164.5 | 申请日: | 2014-02-13 |
公开(公告)号: | CN103762322A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 谢维容;黄信哲 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光二极管 图案 制造 方法 及其 | ||
技术领域
本发明涉及一种应用于液晶显示设备的光掩膜技术,尤其涉及一种形成有机发光二极管膜层图案的制造方法及其制造治具。
背景技术
近年来,常规的显示器已逐渐地被便携式薄平板显示器所取代。由于有机或无机发光显示器可提供宽视角和良好的对比度,且具有快速的响应速度,因而有机或无机发光显示器的自发光显示器比其它平板显示器具有更多的优势。这样,有机或无机发光显示器作为下一代显示器已引起人们的广泛关注,特别是包括由有机材料形成的发光层的OLED(Organic Light Emitting Diode,有机电致发光二极管)显示器在提供彩色图像的同时,相比无机发光显示器具有更好的亮度、更低的驱动电压和更快的响应时间。
对于OLED显示器来说,在制程工艺中,往往需要在衬底上沉积一层或多层有机膜,并且将膜层堆叠的顶部和底部耦合到电极。在此,膜厚是主要的考虑因素,例如,总的膜层堆叠厚度大致约100nm,每一沉积膜层以优于正负1nm的精确度来进行最佳地均匀沉积。此外,沉积薄膜的另一重要考虑因素是将膜精确放置在发光区域所需的位置,现有技术较常采用的诸如遮罩屏蔽法。具体而言,遮罩屏蔽技术需要将限定分明的掩模放置在衬底区域上方,随后在整个衬底区域上方沉积膜。一旦完成沉积,就去除遮罩掩模,通过掩模暴露的区域限定了衬底上沉积的膜层图案。这种工艺的效率较低,这是因为,即使只有掩模暴露的区域需要沉积膜,也必须涂覆整个衬底;其次,随着每次使用,对遮罩掩模进行越来越多地涂覆,最终必须被丢弃或被清洁;再者,在大区域上方采用遮罩掩模很困难,使用极薄的掩模又会使掩模的结构不稳定。
有鉴于此,如何对传统的有机发光二极管膜层图案的制程工艺进行改进或革新,既可保证高质量的沉积膜层的形成,又可降低制程成本,是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。
发明内容
针对现有技术中的有机发光二极管膜层图案制作时所存在的上述缺陷,本发明提供了一种形成有机发光二极管膜层图案的制造方法及其制造治具。
依据本发明的一个方面,提供了一种用于形成有机发光二极管膜层图案的制造方法,包括以下步骤:
提供一基材;
形成一可撕胶膜于所述基材的上方,其中所述可撕胶膜具有一预设图案;
将一有机发光二极管膜层镀于所述基材以及所述可撕胶膜的上方;以及
撕除所述有机发光二极管膜层的一部分和所述可撕胶膜,以得到所述有机发光二极管膜层的目标区域,从而形成所述有机发光二极管膜层图案。
在其中的一实施例,采用网印方式将所述可撕胶膜形成于所述基材的上方。
在其中的一实施例,采用印刷轮滚动方式将所述可撕胶膜形成于所述基材的上方。较佳地,所述基材为一可挠式基材。
依据本发明的又一个方面,提供了一种上述制造方法的可撕胶膜图案的制造治具,包括:
一网版,具有多个栅格,所述栅格的位置布局对应于所述可撕胶膜的预设图案;
一回墨刀,用于将所述可撕胶膜涂布至所述网版的表面;
以及
一刮刀,位于所述回墨刀的一侧,当所述刮刀下压时,挤压所述可撕胶膜并透过所述栅格贴附于所述基材的上表面,从而形成所述可撕胶膜图案,其中所述基材设置于所述网版的下方且可沿着水平方向移动。
在其中的一实施例,所述回墨刀以第一压力将所述可撕胶膜涂布至所述网版的表面,所述刮刀以第二压力下压所述网版,其中所述第一压力小于所述第二压力。
依据本发明的再一个方面,提供了一种上述制造方法的可撕胶膜图案的制造治具,包括:
一印刷轮,其圆周设置有多个彼此间隔的凸起;
一存储槽,用以存储所述可撕胶,当所述印刷轮旋转时,所述存储槽中的可撕胶涂布至所述印刷轮的凸起;以及
若干滚轮,设置于可挠式基材的表面,所述滚轮用以提供摩擦力从而使所述可挠式基材移动,
当所述可挠式基材移动时,藉由所述印刷轮的转动将所涂布的可撕胶印刷至所述可挠式基材,从而形成所述可撕胶膜图案。
在其中的一实施例,所述制造治具还包括一干燥器,用于干燥印刷至所述可挠式基材的可撕胶。
在其中的一实施例,所述滚轮位于所述可挠式基材的转角处,用以提供移动所需的滚动摩擦力。
在其中的一实施例,滚轮位于所述可挠式基材的水平段,用以提供移动所需的滑动摩擦力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择