[发明专利]一种超纯气体全自动高精度充装系统

权利要求书

1.一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：包括超纯气源、超纯气体储罐、真空充装室、管路抽真空装置、真空室抽真空装置、废气回收处理装置、加热带、制冷机、压力传感器、温度传感器；超纯气源通过补气管路与超纯气体储罐连接，并向超纯气体储罐内补充气体；超纯气体储罐通过充气管路与真空充装室连接，为真空充装室内的待充灌产品充气；管路抽真空装置的一端通过抽气管路分别连接至补气管路、超纯气体储罐、充气管路，管路抽真空装置的另一端连接至废气回收处理装置，将抽出的气体送至废气回收处理装置，并通过废气回收处理装置进行无毒化处理；真空室抽真空装置、制冷机均与真空充装室连接，为真空充装室进行抽真空处理以及控制真空充装室内温度；补气管路、超纯气体储罐、充气管路以及抽气管路均通过复压管路与废气回收处理装置连接，对各管路或容器进行置换清洗；超纯气体储罐还通过过压保护管路连接至废气回收处理装置，用于系统的超压卸载；各管路外部布置加热带和温度传感器，用于对管路进行加热除气；超纯气体储罐以及各管路上配备有用于监测状态的压力传感器；所述的复压管路中配有复压阀，所述的补气管路、抽气管路以及充气管路中配有截止阀，所述的过压保护管路中配有安全阀。

2.根据权利要求1所述的一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：所述的充气管路包括第五截止阀、第六截止阀、第七截止阀、第三压力表、第四压力表、第五压力表以及科氏流量计；超纯气体储罐输出的气体依次经过第五截止阀、科氏流量计、第六截止阀、第七截止阀后到达真空充装室，第五截止阀和科氏流量计间装有第三压力表，科氏流量计和第六截止阀间装有第四压力表，第六截止阀和第七截止阀间装有第五压力表；通过科氏流量计以及第三压力表、第四压力表、第五压力表的值监测并控制超纯气体储罐向真空充装室内待充装产品输出的气体的压力及流量。

3.根据权利要求1所述的一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：所述的真空充装室内顶部安装有用于对待充装产品进行加热除气的加热笼；真空充装室底部安装有冷板，冷板连接至外部制冷机，并为真空充装室降温，进而对置于冷板上面的待充装产品进行冷却；真空充装室内部还安装有温度传感器，温度传感器探头粘帖在待充装产品上，实时检测待充装产品温度。

4.根据权利要求1所述的一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：所述的截止阀、复压阀均为气动电磁阀。

5.根据权利要求1所述的一种超纯气体全自动高精度充装系统，其特征在于：还包括操作控制台；所述的科氏流量计、压力传感器、温度传感器、各截至阀、管路抽真空装置、真空室抽真空装置均通过操作控制台实时显示测量值或控制开关、起停。