[发明专利]一种抗高冲击的微机电陀螺无效
申请号: | 201410047971.1 | 申请日: | 2014-02-11 |
公开(公告)号: | CN103808314A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 姜涛;魏云;姚赛 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G01C19/5747 | 分类号: | G01C19/5747 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 吴林松 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冲击 微机 陀螺 | ||
1.一种抗高冲击的微机电陀螺,包括左右对称设置的两个单框式结构,所述两个单框式结构经由中间耦合梁(5)连接,每个单框式结构均包括驱动质量框(1)、设于所述驱动质量框(1)内部的检测质量框(2)以及连接所述驱动质量框(1)和所述检测质量框(2)的检测弹性梁(4),其特征在于:每个单框式结构还包括三锚点折叠梁(3)和弹性限位结构(6),所述驱动质量框(1)和锚点(7)之间经由八组三锚点折叠梁(3)连接,所述每个驱动质量框(1)的外部左右两侧沿水平方向分别成对设置弹性限位结构(6),每个驱动质量框(1)外部上下两侧沿竖直方向单向设置一组弹性限位结构(6),所述每个检测质量框(2)内部四侧分别设置一组弹性限位结构(6)。
2.根据权利要求1所述的微机电陀螺,其特征在于:所述单框式结构中,每个驱动质量框(1)的外部上下两侧沿竖直方向成对布置八组三锚点折叠梁(3),所述驱动质量框(1)上下两侧每边上的四组三锚点折叠梁(3)中,其中两组三锚点折叠梁(3)位于该侧边的两端,另外两组三锚点折叠梁(3)在该侧边关于驱动质量框(1)的中心轴对称布置;
优选的,所述驱动质量框(1)上下两侧每边上的四组三锚点折叠梁(3)分别位于该单侧边的第一等分点、第二等分点、第四等分点以及第五等分点位置上。
3.根据权利要求1或2所述的微机电陀螺,其特征在于:所述三锚点折叠梁(3)为轴对称结构,包括位于左右两侧的U型梁以及位于中间的T型梁,所述两组U型梁靠近所述T型梁的一侧分别与所述T型梁的两翼缘相连,所述两组U型梁远离所述T型梁的一侧与锚点(7)连接,所述T型梁的梁肋与驱动质量框(1)连接。
4.根据权利要求3所述的微机电陀螺,其特征在于:所述单框式结构中,驱动质量框(1)、驱动质量框(1)上下侧边第一等分点、第二等分点和第四等分点上的六组三锚点折叠梁(3)、检测质量框(2)以及检测弹性梁(4)上均溅射铝线,且检测电磁回路由位于驱动质量框(1)上下侧边第二等分点和第四等分点上的四组三锚点折叠梁(3)、检测弹性梁(4)以及检测质量框(2)水平方向上的铝线构成,驱动电磁回路由位于驱动质量框(1)上下侧边第一等分点上的两组三锚点折叠梁(3)及驱动质量框(1)上的铝线构成。
5.根据权利要求4所述的微机电陀螺,其特征在于:位于同一等分点处的上下两组三锚点折叠梁(3)中,铝线溅射于同一侧的U型梁上。
6.根据权利要求1所述的微机电陀螺,其特征在于:所述弹性限位结构(6)包括凹槽(6-3)、位于凹槽(6-3)上方的弹性限位凸台(6-1)以及位于弹性限位凸台(6-1)左右两侧的刚性限位凸台(6-2),所述弹性限位凸台(6-1)和所述两个刚性限位凸台(6-2)用于连接锚点(7),且弹性限位凸台(6-1)和刚性限位凸台(6-2)到驱动质量框(1)的距离不同,且弹性限位凸台(6-1)和刚性限位凸台(6-2)到检测质量框(2)的距离也不同。
7.根据权利要求1或6所述的微机电陀螺,其特征在于:所述弹性限位结构(6)为直接在锚点上刻蚀加工获得。
8.根据权利要求1所述的微机电陀螺,其特征在于:所述检测弹性梁(4)为T形结构,检测弹性梁(4)的两翼缘端分别与驱动质量框(1)的内侧相连接,梁肋端与所述检测质量框(2)的外侧连接。
9.根据权利要求1所述的微机电陀螺,其特征在于:所述驱动质量框(1)和检测质量框(2)均为中空的框式结构。
10.根据权利要求9所述的微机电陀螺,其特征在于:所示检测质量框(2)的中空部分的内部为键合区,所述键合区内设有多条沟槽(8)。
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