[发明专利]一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法

权利要求书

1.一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

（1）在硅片上滴上紫外固化胶溶液的液滴，再将硅片固定在旋转涂膜仪的转台上，以一定的速率匀胶40秒以上，使溶剂充分挥发得到硅片表面均匀平整的紫外胶液体膜；

（2）再用转移膜与硅片上的紫外胶液体膜完全贴合，贴合后保持一段时间后揭下转移膜，将转移膜沾有紫外胶液体的一面与要观察的固体表面贴合，贴合后保持一段时间后揭下转移膜，紫外胶液体就被粘附到固体表面；

（3）被粘附到固体表面的紫外胶液体在表面张力和固体表面表面能和微结构共同作用下，自发形成一些热力学稳定的微纳米尺度的浸润形貌，再用紫外光曝光的方法将紫外胶液体固化，从而将紫外胶液体的浸润形貌冻结下来；

（4）利用扫描电子显微镜观测步骤（3）冻结后的液体的浸润形貌。

2.根据权利要求1所述的一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法，其特征在于，步骤（1）中紫外固化胶溶液所用的溶剂为甲基丙烯酸甲酯。

3.一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

（1）将待观测的固体表面置于液氮低温环境中一段时间后，取出在室温环境放置一段时间，固体表面形成微纳米级的小水滴凝结；

（2）再在待观测的固体表面，滴上与水不相溶的油性紫外胶液滴，包裹小水滴的的浸润形貌，然后立即用紫外光曝光将紫外胶液滴固化，再将固化的紫外胶液滴从待观测的固体表面分离，于是在紫外胶液滴固体材料上留下水滴浸润形貌的几何互补形貌；

（3）利用扫描电子显微镜观测步骤（2）得到的水滴浸润形貌的几何互补形貌。

4.根据权利要求3所述的一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法，其特征在于，步骤（1）中，将待观测的固体表面置于液氮低温环境中2分钟，取出在室温环境放置5秒钟。