[发明专利]大型中、高真空抽气机组及其抽气工艺

权利要求书

1.一种大型中、高真空抽气机组，包括真空室，其特征在于，所述真空室分别与一粗抽泵、一牵引分子泵、一深冷水汽泵和一化学吸附泵连接，所述牵引分子泵的排气口与一前级泵连接。

2.根据权利要求1所述的大型中、高真空抽气机组，其特征在于，所述真空室和粗抽泵之间设有一第一真空阀，所述真空室和牵引分子泵之间设有一第二真空阀，所述真空室和深冷水汽泵之间设有一第三真空阀，所述真空室和化学吸附泵之间设有一第四真空阀，所述牵引分子泵的排气口和前级泵之间设有一第五真空阀。

3.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，采用权利要求1或2所述的抽气机组抽气。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，利用相邻两次镀膜周期之间的间隔，采用所述蒸发镀膜设备中的粗抽泵对深冷水汽泵实施真空升华再生。

5.一种真空炉，其特征在于，采用权利要求1或2所述的抽气机组抽气。

6.一种权利要求5所述的真空炉，其特征在于，在不中断真空抽气的条件下，利用真空抽气机组，对深冷水汽泵实施真空升华再生。

7.一种如权利要求1或2所述的大型中、高真空抽气机组的抽气工艺，其特征在于包括如下步骤，

（1）粗抽阶段（10⁵Pa~几百Pa）：由粗抽泵抽气； 

（2）中真空阶段（几百Pa~几Pa）：由牵引分子泵或牵引分子泵+前级泵抽气；

（3）高真空阶段（几Pa~10^-2 Pa）：由深冷水汽泵和牵引分子泵并联抽气；

（4）高真空阶段（10^-2 Pa~所需的压强）：由化学吸附泵、深冷水汽泵和牵引分子泵并联抽气。