[发明专利]液体滴下装置

说明书

本申请是申请号为201110132507.9、发明名称为“液体滴下装置”、申请日为2011年5月20日的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及向对象物滴下微少量的液体的液体滴下（滴液）装置。更详细地讲，涉及对于软钎料（焊料）所例示的熔融金属等的在特定的条件下维持液体状态的物质，能够将其以微少量的液体的形式操作处理并对滴下对象物适合地滴下的液体滴下装置。

背景技术

例如在磁头的制造工序中，通过在多个电极间配置由软钎料形成的导电性的微小球，将其熔融并进一步地使其对于各个电极进行固着，来进行该电极间的电接合（参照专利文献1）。在此，现在磁头的微小化、高功能化在推进，在电极数增加的同时电极自身也变小，作为结果，导电性的球也不得不微小化。如果导电性球变为例如100μm以下的直径，则会产生个别的操作处理变得困难，并且操作处理中所谓污染物附着、或者该球体的价格自身变高昂这样的课题。

基于这样的背景，如专利文献2至5所公开的那样，曾提出了直接对被接合物吐出熔融软钎料，并使其附着的技术。根据该技术，伴随着上述的导电性球的使用而产生的课题得到解决。在这些技术中，使蓄积了熔融金属的液体蓄积部发生体积变化，利用该体积变化从该液体蓄积部吐出规定量的熔融金属。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009-028781号公报

专利文献2：日本特开2000-294591号公报

专利文献3：日本特开平10-137930号公报

专利文献4：日本特开2003-334654号公报

专利文献5：日本特开2006-075781号公报

专利文献6：日本特开平02-175254号公报

专利文献7：日本特开2001-232245号公报

专利文献8：日本特开2009-000719号公报

发明内容

在此，作为使液体微少量地滴下或者吐出的方法，还已知专利文献6或7所公开的技术。在这些方法中，就基本上利用液体的体积变化来滴下规定量的液体的情形而言，与上述的现有技术同样。然而，在利用体积变化的情况下，如果气体混入到液体中，则体积变化与为了体积变化而施加的压力的变化的关系不成为一次曲线。因此，随着液体的滴下量变为微小，向液体中混入气体对滴下精度的影响变大。由以上的情况来看，在专利文献2至7所公开的技术中，通过在不存在气体的被密闭的空间内形成液体蓄积部，并进行在该空间内的体积变化，能够进行规定量的液体的滴下。

例如，在专利文献8所示的构成中，通过考虑与蓄积的液体的所谓润湿性而构成该空间的内壁，来防止气体向喷嘴内部的侵入。该文献可以说是通过反向说明而示出了在微少量的液体滴下时气体向喷嘴内的混入会成为大的问题。另外，在为这样的结构的喷嘴的情况下，在液体由树脂构成时，也可通过分解喷嘴、进行各部件的洗涤来进行维护。但是，在液体为熔融金属的情况下，必须除去已固化的金属。

本发明是鉴于以上的状况而完成的，其目的在于提供一种液体滴下装置，其可以通过采用上述的体积变化以外的方法来消除对于喷嘴的气体侵入等的影响，并且可以利用维护性优异的简单的结构实现微小量的液体滴下。

为了解决上述课题，本发明涉及的液体滴下装置是滴下规定量的液体的液体滴下装置，其特征在于，具有：

液体接受部，该液体接受部蓄积液体而形成液体蓄积部；

喷嘴，该喷嘴具有与在液体接受部中蓄积液体的区域连通并且液体能够通过的喷嘴孔；

致动器（促动器；actuator）；和

杆，该杆的一个端部被浸渍于液体蓄积部中，另一端部被致动器支持，能够沿喷嘴孔的形成轴方向移动，

所述杆通过致动器能够在形成轴方向上直线运动，通过杆的直线运动而使液体蓄积部的一部分产生波动能，液体因波动能而从喷嘴孔滴下。