[发明专利]光学滤波器器件、光学模块以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中，已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙分别相对配置反射膜的波长可变干涉滤波器。并且已知有将这样的波长可变干涉滤波器容纳在壳体内的光学滤波器器件（例如参考专利文献1）。

该专利文献1所述的光学滤波器器件具备板状的底座（底部基板）和具有圆筒形盖的封装件（壳体）。该壳体的底部基板的周边部分和盖的圆筒一端部焊接或粘合地连接，在底部基板与盖之间设置容纳波长可变干涉滤波器的空间。另外，盖在与底座部相对的上表面设置有孔，在该孔上设置使光通过的窗口部。

然而，如上述专利文献1所示，不仅在壳体上设置光通过孔，而且在底部基板上有时也形成光透过用的孔。但是，存在由于形成光通过孔等而进行的加工，底部基板的平行性恶化的情况。例如，在光通过孔的外周边缘附近形成翘曲或突起等。如果将平行性恶化的底部基板和波长可变干涉滤波器接合，则由于翘曲部分或突起部分与波长可变干涉滤波器的接合面局部地接触，因此存在波长可变干涉滤波器未水平固定，其结果分辨率恶化的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-70163号公报

发明内容

本发明的目的在于提供分光精度高的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。

本发明的光学滤波器器件，其特征在于，具备：光干涉滤波器，具有第一基板；第二基板，与上述第一基板相对；第一反射膜，设置在上述第一基板上，使入射光的一部分反射一部分透过；及第二反射膜，设置在上述第二基板上，与上述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过，以及壳体，具有底部基板和盖，所述底部基板固定上述光干涉滤波器；所述盖与上述底部基板接合，在上述盖与上述底部基板之间形成可容纳上述光干涉滤波器的内部空间，上述第二基板，在从基板厚度方向观察到的上述第一基板和上述第二基板的俯视观察中，在上述第一反射膜和上述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，具有设置在与上述第一基板相反侧的面上的环形的凹部，上述底部基板具有与光通过区域对应的光通过孔，上述光通过孔的外周边缘与上述环形的凹部相对，上述第二基板与上述第一基板相反侧的面与上述底部基板接合。

在本发明中，以光通过孔的外周边缘与环形的凹部相对的形式、光干涉滤波器与底部基板接合。在这样的结构中，例如，即使在将光通过孔的外周边缘附近产生翘曲或突起等而平行性恶化的底部基板与光干涉滤波器接合的情况下，由于光通过孔的外周边缘与环形的凹部相对，因此可以避免翘曲部分或突起部分与光干涉滤波器的接合面局部接触。因此，在底部基板上可以水平地接合光干涉滤波器，可以实现高分光精度。

本发明的光学滤波器器件优选，上述光干涉滤波器具有改变上述第一反射膜和上述第二反射膜之间的间隙尺寸的间隙变更部。

在本发明中，光干涉滤波器具有间隙变更部。通过使向间隙变更部施加的电压变化，从而反射膜间的间隙尺寸发生变化，可以使取出的光的波长变化。

本发明的光学滤波器器件优选，上述第二基板与上述底部基板通过粘合层接合。

在本发明中，第二基板与底部基板通过粘合层接合。在这样的结构中，在底部基板与第二基板之间形成相当于粘合层的厚度的间隔，因此基于底部基板形状的应力不被传输到第二基板。

本发明的光学滤波器器件优选，上述底部基板的光通过孔在与上述第二基板的相对面侧和与上述第二基板的相反面侧，其大小不同，上述光通过孔与上述第二基板的相对面侧的外周边缘与上述环形的凹部相对，上述环形的凹部在上述俯视观察中，位于上述光通过孔与上述第二基板的相反面侧的外周边缘的外侧。

在本发明中，光通过孔与第二基板相对的面侧的外周边缘与环形的凹部相对，以环形的凹部在俯视观察中位于光通过孔与第二基板的相反面侧的外周边缘的外侧的形式，光干涉滤波器与底部基板接合。

在这样的结构中，由于与第二基板相对的面侧的外周边缘与环形的凹部相对，因此可以避免翘曲部分或突起部分与光干涉滤波器的接合面的局部接触。另外，由于以环形的凹部位于外侧的方式配置与第二基板的相反面侧的外周边缘，因此即使光射入设备，光也不会进入环形的凹部。因此，可以防止因光射入环形的凹部而产生杂散光，可以取出所需目标波长的光。

本发明的光学滤波器器件优选，具有设置在上述底部基板与上述第二基板相反侧的面上，覆盖上述光通过孔的盖玻璃，上述盖玻璃具有设置在与上述底部基板相对的面上的比上述光通过孔大的凹部，上述光通过孔的外周边缘位于上述凹部内。