[发明专利]具备测定内部镜体体的倾斜量的倾斜测定部的激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及具备测定内部镜体的倾斜量的倾斜测定部的激光振荡器。

背景技术

激光振荡器用于工件的切割、焊接等。激光振荡器的输出会随着谐振器所具备的内部镜体的脏污或劣化而下降。因此，必须定期从谐振器拆下内部镜体来进行清洗或者更换。而且，将内部镜体再次组装入谐振器之后，必须通过调整内部镜体的倾斜量来调整谐振器的光轴。

以往的激光振荡器中的谐振器的光轴是按照下述方式进行调整的。首先，选择谐振器的多个内部镜体中的两个镜体。此外，这些内部镜体安装在具备使内部镜体向互相正交的两个方向倾斜的两个调整部的载台上。

使所选择的两个镜体中的第一镜体向正交的两个方向中的一个方向以某个量倾斜。接着，使另外的第二镜体向同一方向倾斜，并调整第二镜体的倾斜量使激光输出值达到最大。分别记录此时的第一镜体的倾斜量和激光输出的最大值。变更第一镜体的倾斜量并多次重复上述处理，就能得到第一镜体的倾斜量与激光输出值的关系。

图7是表示所选择的两个镜体中的第一镜体的倾斜量X与激光输出值Y的关系R的图。如图7所示，激光输出值Y在倾斜量X0处具有峰值Y0。而且，在比该峰值Y0小规定的比例Δ的输出值Y1处引出相对于横轴平行的直线L。规定的比例Δ设定在例如峰值Y0的10%～30%的范围内。将该直线L与关系R的图表的交点所对应的倾斜量设定为X1、X2。然后，使第一镜体以与倾斜量X1、X2的中点对应的倾斜量XM倾斜。接着，调整第二镜体的倾斜量使激光的输出值达到最大。如此，能够使激光在调整后的第一镜体与第二镜体之间通过的透过面积最大化。

然后，在正交的两个方向中的另一个方向上也进行同样的操作。当使用数量多于两个的内部镜体时，对于其他的内部镜体也选择能调整的组合并依次进行同样的操作。这样，能够得到透过面积大、干扰小、输出损失少的激光。

为了调整这种内部镜体的倾斜量，有时会使用测微计。该情况下，是使用测微计调整保持镜体的载台的高度。测微计兼有作为使镜体倾斜的调整部的作用和作为测定倾斜量的倾斜测定部的作用。

此外，还公知有组合调整螺钉及位移传感器来调整镜体的倾斜量的技术（参见JP-A-63-038354）。另外，在JP-A-63-038354中公开了如下激光振荡器，其具有圆筒型容器；以能够调整倾斜角度的方式安装在环状部件上的镜体，该环状部件安装在该容器上；保持镜体的镜体保持部；以及使镜体保持部相对于环状部件位移的调整螺钉，且还具备测定镜体保持部的移动量的传感器。

在以往的调整镜体的倾斜量的调整方法中，对于使镜体倾斜的一个调整部设置一个倾斜测定部。因此，为了使镜体向正交的两个方向倾斜，必须具有两个调整部以及两个倾斜测定部，结果，存在谐振器的结构变复杂、成本增加的倾向。

因此，期望一种具有简单结构的价格低廉的激光振荡器。

发明内容

根据本申请的第一技术方案，提供一种激光振荡器，其具备至少两个镜体和以能够相对于光轴倾斜的方式保持上述至少两个镜体的镜体保持部，上述镜体保持部进一步具备：使上述镜体倾斜的两个倾斜调整部；作为使上述镜体倾斜时的支点起作用的支点部；以及测定上述镜体因上述两个倾斜调整部而倾斜的倾斜量的一个倾斜测定部，上述倾斜测定部配置在连结上述支点部和上述倾斜调整部的直线之外的区域。

根据本申请的第二技术方案，在第一技术方案所述的激光振荡器中，上述倾斜测定部形成为相对于上述镜体保持部能够装卸。

根据本申请的第三技术方案，在第一或第二技术方案所述的激光振荡器中，上述倾斜测定部进一步具备位移计、视觉性地显示该位移计的测定值的显示部以及向外部输出上述位移计的测定值的输出部。

对照附图所示的本发明的例示实施方式的详细说明，本发明的上述及其他目的、特征以及优点将更加明了。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的激光振荡器的谐振器的结构的图。

图2是表示镜体保持部的剖视图。

图3是表示镜体保持部的支点部、倾斜调整部以及倾斜测定部的位置关系的图。

图4A是用于说明镜体保持部的倾斜测定部的作用的图。

图4B是用于说明镜体保持部的倾斜测定部的作用的图。

图5是表示变形例的激光振荡器中的镜体保持部的支点部、倾斜调整部以及倾斜测定部的位置关系的图。

图6A是用于说明图5所示的镜体保持部的倾斜测定部的作用的图。

图6B是用于说明图5所示的镜体保持部的倾斜测定部的作用的图。