[发明专利]能量色散型荧光X射线分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能量色散型荧光X射线分析装置。更具体来说，涉及一种即使检测器等的温度有变化，也可准确鉴定从测定对象元素获得的特征X射线的波峰的能量色散型荧光X射线分析装置。

背景技术

荧光X射线分析装置，系利用通过对试样照射激发X射线而产生的荧光X射线，对试样中的测定对象元素进行鉴定或定量的装置。只要荧光X射线中含有试样中的测定对象元素所特有的特征X射线，即可确认存在该测定对象元素，另外，还可从该特征X射线的计数值获得该测定对象元素的定量信息。

荧光X射线分析装置中有波长色散型和能量色散型，其中，能量色散型荧光X射线分析装置由于不需要分光系统，能够实现装置的小型化，被应用于对各种试样进行的分析。

一直以来，使用能量色散型荧光X射线分析装置，离不开严格的温度管理（例如，专利文献1）。这是因为，检测器尤其容易受到温度的影响，即使是相同能量（波长）的X射线，由于温度变化，也会检测出不同波高值的波峰。

另外，还有研究提出：探测激发X射线散射光的波高值的位置偏差，反馈控制施加于检测器的高压电压等，若为相同能量（波长）的X射线，则无需进行严格的温度管理，即可得到一定波高值的波峰（专利文献2）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利实用新型专利第3075377号公报

专利文献2：日本专利特开平04－274745号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，若要如专利文献1所示进行温度管理，离不开用于温度管理的大型系统。另外，即使想要进行严格的温度管理，在环境温度大幅变化等情况下，有时会无法保持恒定的温度。特别是使用正比计数器作为检测器时，其受温度变化的影响较大，有时会给进行准确的分析带来障碍。

另外，如专利文献2所示，即使为了避免产生激发X射线的散射光的波高值的位置偏差而进行反馈控制，由于能量值（波长）和波高值并非简单的正比关系，因此，基于试样中的测定对象元素所特有的特征X射线的波峰的波高值，依然无法避免受温度的影响而变动。

本发明即鉴于上述情况而作。本发明提供一种能量色散型荧光X射线分析装置，即使温度有变化，其也可准确鉴定从测定对象元素获得的特征X射线的波峰。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明采用了如下结构。

本发明的第一方案为，一种能量色散型荧光X射线分析装置，其基于通过对试样照射激发X射线所产生的荧光X射线，分析所述试样中的测定对象元素，其特征在于，

其具备：

X射线源，其放射包含从靶材产生的能量E1的特征X射线的激发X射线，

修正体，其以遮挡从所述X射线源至所述试样的激发X射线的部分光束的方式设置，并通过激发X射线产生能量E2的特征X射线作为修正X射线，

检测器，其在检测出所述激发X射线及所述修正X射线的同时，检测出从所述试样产生的荧光X射线，

波高分析器，其将所述检测器的输出转换为以对应能量值的波高值为横轴、以计数值为纵轴的波谱，

运算部，其根据从该波高分析器获得的波谱，求得所述试样中的测定对象元素的信息；

其中，所述运算部，根据基于能量E1的特征X射线的波峰顶点的波高值H1，和基于能量E2的特征X射线的波峰顶点的波高值H2，修正能量值和波高值的关系，

将与试样中的测定对象元素的能量Ex的特征X射线对应的波高值Hx的波峰，鉴定为基于所述试样中的测定对象元素的波峰。

本发明的第二方案为，根据第一方案所述的能量色散型荧光X射线分析装置，其中，所述检测器为正比计数器。

本发明的第三方案为，根据第一方案或第二方案所述的能量色散型荧光X射线分析装置，其中，构成所述靶材的元素为钛或钪，构成所述修正体的元素为铝或硅。

本发明的第四方案为，根据第一方案～第三方案中的任一项所述的能量色散型荧光X射线分析装置，其中，所述试样中的测定对象元素为硫磺。

本发明的第五方案为，根据第一方案～第四方案中的任一项所述的能量色散型荧光X射线分析装置，其中，所述试样为石油。

本发明的第六方案为，根据第一方案～第五方案中的任一项所述的能量色散型荧光X射线分析装置，其中，

其还具备滤波器，该滤波器由与构成所述靶材的元素相同的元素或原子序数比构成所述靶材的元素大1的元素构成，其被设置于所述X射线源和所述修正体之间，以过滤从所述X射线源至所述试样的激发X射线的光束；