[发明专利]光扫描仪及其制造方法、图像显示装置、头戴式显示器

权利要求书

1.一种光扫描仪，其特征在于，具备：

基部；

轴部，其将所述基部支承为能够绕第1轴摆动；以及

光学部，其包括被所述基部支承并具有透光性的光透过部以及设置在所述光透过部上并降低光反射的第1光反射降低部，

光入射至所述第1光反射降低部,

所述光学部的光反射率小于4％。

2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光学部的透光率为92％以上。

3.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

在所述光透过部的与设有所述第1光反射降低部的表面相反侧设置有使透过了所述第1光反射降低部以及所述光透过部的光的反射率降低的第2光反射降低部。

4.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光学部包括降低光反射的第3光反射降低部，该第3光反射降低部被设置在所述光透过部的与设有所述第1光反射降低部的表面相反侧的表面。

5.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述基部具有贯通孔，透过了所述光学部的光的至少一部分通过所述贯通孔。

6.根据权利要求5所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光透过部被设置成覆盖所述贯通孔的一侧的开口。

7.根据权利要求5所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光透过部被设置在所述贯通孔内。

8.根据权利要求7所述的光扫描仪，其特征在于，

在所述贯通孔的轴向的中途形成有阶梯部，

所述光透过部与所述阶梯部抵接。

9.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光透过部被设置成与所述轴部在所述第1光反射降低部的厚度方向分离，并且从所述厚度方向观察时与所述轴部的至少一部分重叠。

10.一种图像显示装置，其特征在于，

包括能够绕第1轴摆动的可动部、和将所述可动部支承为能够绕所述第1轴摆动的轴部，

所述可动部包括：

基部，其与所述轴部连接；

光透过部，其被所述基部支承且具有透光性；以及

第1光反射降低部，其被设置于所述光透过部并降低光反射，

所述第1光反射降低部的光反射率小于4％。

11.一种头戴式显示器，其特征在于，是具备佩戴于观察者的头部的框架、和设于所述框架的光扫描仪的头戴式显示器，

所述光扫描仪具备：

基部；

轴部，其将所述基部支承为能够绕第1轴摆动；以及

光学部，其包括被所述基部支承并具有透光性的光透过部以及设置在所述光透过部上并降低光反射的第1光反射降低部，

光入射至所述第1光反射降低部，

所述光学部的光反射率小于4％。

12.一种光扫描仪的制造方法，其特征在于，具有：

准备具有板状的基部以及向所述基部的一面侧突出的突出部的基板、和在一面侧形成有凸部的透明基板，使所述基板与所述透明基板重叠，将所述突出部与所述凸部接合的接合工序；

对所述基部进行图案化，来形成支承所述突出部的基部以及与所述基部连接的轴部的图案化工序；

通过留下所述凸部地对所述透明基板进行薄壁化，来形成光透过部的薄壁化工序；以及

对所述光透过部形成使光反射降低的光反射降低部的光反射降低部形成工序。

13.根据权利要求12所述的光扫描仪的制造方法，其特征在于，

具有在所述薄壁化工序之前对所述基板与所述透明基板的缝隙填充密封材料的填充工序，

在所述薄壁化工序中，通过湿式蚀刻进行所述透明基板的薄壁化。

14.一种光扫描仪，其特征在于，具备：

基部；

轴部，其将所述基部支承为能够绕第1轴摆动；以及

光学部，其包括被所述基部支承并具有透光性的第1光学部以及设置在所述第1光学部上并具有比所述第1光学部的透光率高的透光率的第2光学部，

光入射至所述第2光学部，

所述光学部的光反射率小于4％。