[发明专利]一种可降低行程的离子束加工方法

权利要求书

1.一种可降低行程的离子束加工方法，其特征在于，基于五轴加工设备，当加工所需的X轴和Y轴行程大于机床行程时，摆动A和B两个旋转轴来移动离子束加工点，利用极限行程进行加工，同时对旋转轴和Z轴运动坐标进行修正，并对驻留时间进行修正。

2.根据权利要求1所述的可降低行程的离子束加工方法，其特征在于，具体步骤为：

（1）建立加工路径；根据待加工光学元件的形状和尺寸建立离子束修形加工路径；其中，设抛光路径上第i点P_i在工件坐标系的坐标为xwiywi;]]>

（2）计算加工路径上各点的驻留时间和机床运动坐标；

（3）修正机床运动坐标；

（4）数控修形加工：根据步骤（3）计算得到的加工点机床运动坐标，对待加工光学元件的光学表面进行数控修形加工。

3.根据权利要求2所述的可降低行程的离子束加工方法，其特征在于，所述步骤（2）的具体步骤为：

（2.1）计算加工路径上各点P_i处的加工驻留时间

（2.2）计算加工路径上各点P_i处的机床运动坐标：

x0iy0iz0iα0iβ0i;]]>

计算公式为：

α0i=-tan-1(nyinzi)β0i=sin-1nxi---(1)]]>

和

x0i=xwi-l·nxiy0i=ywi-l·nyiz0i=zwi+l-l·nzi---(2)]]>

其中，nxinyinzi]]>为加工点P_i处的法向量，l为加工靶距，为加工点P_i在工件坐标系的z坐标值；当被加工光学零件为平面时，nxinyinzi≡001,]]>此时，α0i≡0,β0i≡0.]]>