[发明专利]一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法无效
| 申请号： | 201410029125.7 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103777264A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张冬仙;胡晓琳;孙理斌;叶鸣;徐越;史斌;蒋建中 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 任意 超高 透射率 减色 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述的超高透射率减色滤波器具有一个玻璃基片，在玻璃基片上设有一层Ag膜，所述的Ag膜厚范围是20~30nm，在Ag膜上刻有周期性圆形小孔。
2.根据权利要求1所述的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述的超高透射率减色滤波器不依赖光源，在TE/TM偏振白光的照射下均有滤波作用。
3.根据权利要求1所述的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述的超高透射率减色滤波器的峰值透射率高达60~70%。
4.根据权利要求1所述的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述周期性圆形小孔的周期为120~372nm，占空比为0.5。
5. 一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器的制备方法，其特征在于，在平整度小于一个光圈、粗糙度小于1nm的玻璃基片上用磁控溅射的方法镀有一层超薄的Ag膜，膜厚为20~30nm，在Ag膜上刻有周期性圆形小孔。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述滤波器不依赖光源，在TE/TM偏振白光的照射下均有滤波作用。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述滤波器的峰值透射率高达60~70%。
8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述小孔的周期为120~372nm，占空比为0.5。
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