[发明专利]半导体激光阵列光学特性检测装置

权利要求书

1.一种半导体激光阵列光学特性检测装置，包括半导体激光阵列、检测装置、电控平移台与计算机，其特征在于，所述检测装置包括吸收模块A、吸收模块B、反射棱镜A、反射棱镜B与平面反射镜，所述吸收模块A和所述吸收模块B分别设置在所述检测装置的上部与下部，用以吸收剩余巴条的反射光以及所述平面反射镜的反射光；所述反射棱镜A的底部固定在所述吸收模块A的下方且其尖端向下倾斜，所述反射棱镜B的底部固定在所述吸收模块B的上方且其尖端向上倾斜，所述反射棱镜A的尖端和所述反射棱镜B的尖端相靠近形成一间隙，用以选择被测巴条；所述平面反射镜固定在所述检测装置中所述间隙的中轴线处并且位于所述反射棱镜A和所述反射棱镜B后方，用以将被测巴条发射的光进行一级衰减。

2.如权利要求1所述的半导体激光阵列光学特性检测装置，其特征在于，半导体激光阵列包括多个带有快慢轴准直镜的被测巴条。

3.如权利要求2所述的半导体激光阵列光学特性检测装置，其特征在于，检测装置还包括柱面镜A、柱面镜B、衰减片与CCD相机，在所述间隙的中轴线上设置有微型导轨，所述微型导轨位于所述平面反射镜后方，所述柱面镜A、所述柱面镜B、所述CCD相机分别固定在所述微型导轨的滑块上，所述衰减片固定在所述微型导轨上并且位于所述CCD相机14之前；所述柱面镜对所述平面反射镜的透射光进行压缩，以符合所述CCD相机的测量范围，经过所述衰减片进行二次衰减，所述CCD相机对光斑信息进行记录。

4.如权利要求3所述的半导体激光阵列光学特性检测装置，其特征在于，所述检测装置固定在所述电控平移台上，由计算机控制上下移动，实现对不同巴条的测量。

5.如权利要求1-4任一所述的半导体激光阵列光学特性检测装置，其特征在于，所述平面反射镜上镀有高反膜层，所述吸收模块A和所述吸收模块B均为带有水冷系统的吸收模块。

6.如权利要求5所述的半导体激光阵列光学特性检测装置，其特征在于，所述计算机连接所述CCD相机进行图像实时采集并对光斑进行分析，并控制所述电控平移台的移动。