[发明专利]基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统及测量方法

权利要求书

1.一种基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统，包括有Zeiss光学显微镜（2），其特征在于，Zeiss光学显微镜（2）的光源输入端设置有卤素灯（1），Zeiss光学显微镜（2）的样品扫描端设置有用于对样品（9）进行垂直扫描，并与计算机（8）相连的扫描机构，Zeiss光学显微镜（2）的信号采集端依次设置有CCD彩色相机（6）和与CCD彩色相机（6）相连的图像采集卡（7），所述的图像采集卡（7）还连接计算机（8）。

2.根据权利要求1所述的基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统，其特征在于，在所述的Zeiss光学显微镜（2）与所述的卤素灯（1）之间设置有用于降低蓝色波段以外波段的光透射率的白平衡滤光片（11）。

3.根据权利要求1所述的基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统，其特征在于，在所述的扫描机构包括有与所述的Zeiss光学显微镜（2）的样品扫描端对应设置的物镜纳米定位器（4）和与所述的物镜纳米定位器（4）相连的压电控制器（5），所述的压电控制器（5）通过RS232连接计算机（8），所述的物镜纳米定位器（4）连接在Mirau型干涉物镜（3）上，所述的Mirau型干涉物镜（3）与设置在实验台（10）上的样品（9）相对应设置。

4.一种用于权利要求1～3任一项所述的基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）对CCD彩色相机采集的一组原始图像进行拜尔反变换，得到真实的彩色图像信息；

2）分别提取由步骤1）变换得到的彩色图像任一像素点的R、G和B通道光强信息，进而得到不同扫描位置处R、G、B的光强值；

3）选择Morlet小波作为小波变换的母小波，对步骤2）得到的R、G、B通道的光强值做一维连续小波变换，利用变换结果计算R、G、B通道的相位信息；

4）对步骤3）得到的R、G、B通道的相位信息，基于构造的评价函数初步确定零光程差的位置；

5）选取零光程差附近R、G、B通道的相位信息，对所述R、G、B通道的相位信息做最小二乘拟合得到零光程差位置最优估计值，即精确确定零光程差的位置；

6）利用步骤5）得到的零光程差位置最优估计值，得到步骤2）所述像素点对应的高度信息；

7）对步骤1）变换得到的彩色图像的其它像素点分别作与步骤2）至步骤6）相同的处理，从而得到不同像素点对应的高度信息，最终得到物体的表面形貌。