[发明专利]摄像装置及使用该摄像装置的蒸镀装置

权利要求书

1.一种摄像装置，具有焦阑镜头或真空用镜头、摄像元件、包含轮廓修正功能的影像信号处理电路，其特征在于，

具有8条以上行存储器，从延迟了整数水平周期量的多个影像信号的各影像信号产生强调频率宽且强调中心频率可变的扩展到多个像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号，具有8个以上像素延迟功能，从延迟了整数像素量的多个影像信号的各影像信号产生强调频率宽且强调中心频率可变的扩展到多个像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号，具有在影像信号上加上所述垂直轮廓修正信号和所述水平轮廓修正信号的功能、取得摄像装置周围的气压信息的单元或取得蒸镀装置的处理信息的单元，

至少在进行真空中的焦点前后的物体的确认、气体中的安装确认时，在所述影像信号上加上强调频率宽并且强调中心频率低的扩展到多个像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和强调频率宽并且强调中心频率低的扩展到多个像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号，使得垂直轮廓修正和水平轮廓修正的强调频率宽并且中心频率低。

2.根据权利要求1所述的摄像装置，其特征在于，

所述焦阑镜头或真空用镜头是焦阑且真空用的镜头，所述摄像元件是像素数为百万以上的摄像元件，至少在惰性气体内的焦点的物体的测量时，对所述影像信号进行使所述强调频率宽的垂直轮廓修正信号的强调中心频率高的扩展到多个像素的调制度修正，并且进行使所述强调频率宽的水平轮廓修正信号的强调中心频率高的扩展到多个像素的调制度修正。

3.根据权利要求2所述的摄像装置，其特征在于，

在所述惰性气体为氙或氪即原子量比空气大而重的大气压中的惰性气体时，所述强调频率宽的垂直轮廓修正信号是强调频率宽并且强调中心频率低的扩展到多个像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号，所述强调频率宽的水平轮廓修正信号是强调频率宽并且强调中心频率低的扩展到多个像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号。

4.根据权利要求2所述的摄像装置，其特征在于，

至少进行以下一种操作：

在氖或氦的原子量小而轻的惰性气体或气压低、折射率比大气压的空气低的气体中的安装确认中，在所述影像信号上加上扩展到2像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到2像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号；

在大气压下的空气中、以及原子量与空气同等且折射率与大气压的空气同等的气体中、以及气压低而原子量大且折射率与大气压的空气同等的气体中的安装确认中，在所述影像信号上加上扩展到3像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到3像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号；

在大气压下氙或氪即原子量大且折射率比大气压的空气高的气体中、以及在比大气压高的高压下的空气中、以及原子量为空气同等以上且折射率比大气压的空气高的气体中的安装确认中，在所述影像信号上加上扩展到4像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到4像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号。

5.根据权利要求2所述的摄像装置，其特征在于，

进行以下至少一种操作：

在偏离2像素的焦点前后的物体的确认中，在所述影像信号上加上扩展到2像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到2像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号；

在偏离3像素的焦点前后的物体的确认中，在所述影像信号上加上扩展到3像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到3像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号；

在偏离4像素的焦点前后的物体的确认中，在所述影像信号上加上扩展到4像素的轮廓强调的垂直轮廓修正信号和扩展到4像素的轮廓强调的水平轮廓修正信号。

6.一种蒸镀装置，在内部使用权利要求1至5中任一项所述的摄像装置，其特征在于，

具有：

取得所述摄像装置周围的折射率信息的单元；

控制所述蒸镀装置的处理的单元；

取得所述摄像装置周围的气压信息的单元；以及

从控制所述蒸镀装置的处理的单元向所述摄像装置传输所述摄像装置周围的折射率信息和所述蒸镀装置的处理信息的单元，

向所述摄像装置传输所述摄像装置周围的折射率信息和所述蒸镀装置的处理信息，

在所述摄像装置中，将与所述摄像装置周围的折射率信息和所述蒸镀装置的处理信息对应的扩展到多个像素的垂直轮廓修正信号和扩展到多个像素的水平轮廓修正信号与所述影像信号相加。