[发明专利]线放电加工装置以及线放电加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及线（wire）放电加工装置以及线放电加工方法的技术。

背景技术

以往，作为用于将硅锭(silicon ingot)切割为多个薄片的装置已知线锯(wire saw)，但近年来，有使用线放电加工技术而将工件切割为薄板的技术。

例如，在专利文献1中，公开了在使线移动的多个导辊中配置工件输送装置的技术。

【专利文献1】日本特开2010-260151号公报

发明内容

在多线放电加工中即使对多根线一并供电了同一脉冲且同一电压值的加工电源，极间的放电的发生是针对每个线分别不同的，所以未必针对每个线，同时达到稳定状态而流出放电电流。

在专利文献1中，对于如下问题完全没有公开，即，如果这样针对极间的每个线，放电电流的上升时间产生偏差，则放电电流上升之后的加工能量变化，所以每个线的加工形状也变得不均匀。

本发明的目的在于提供一种即使在对多根线一并供电了的情况下，也能够防止在极间稳定地发生放电加工的时间依赖于实际上放电的线的根数而加工能量产生偏差的结构。

本发明提供一种线放电加工装置，按照并列设置了的线的间隔，通过放电加工对工件进行切割，该线放电加工装置的特征在于，具备：多个主辊，使所述线绕圈，以使得向同一方向移动；供电片，对所述绕圈的多根线，一并供给用于所述放电加工的加工电源；工件输送部，将所述工件向接近所述绕圈的线的方向送出；以及电源布线，与所述供电片以及所述工件导通而供给用于所述放电加工的加工电源，所述供电片以及所述工件输送部配置于对所述多个主辊进行绕圈的线的内侧，使用了所述电源布线的所述加工电源的电源电路与所述供电片以及所述工件输送部分别连接。

另外，其特征在于，还具备加工槽，该加工槽配置于对所述多个主辊进行绕圈的线的外侧，并储存加工液，所述工件输送部配置于比所述供电片低的位置，所述工件输送部将所述工件向接近所述绕圈的线的方向送出，以将所保持的所述工件浸渍到所述加工液中。

另外，其特征在于，所述电源布线具有：含有上行用以及下行用的电缆的同轴布线部；以及所述含有的所述上行用或者所述下行用的电缆从所述同轴布线部分支而与所述供电片和所述工件输送部中的一个连接的单线部，

相比于在所述多个主辊的外周形成的、向不同的方向移动的2个线移动面彼此的间隔引起的长度，所述分支了的单线部的长度更短。

另外，其特征在于，所述电源布线具有：含有上行用以及下行用的电缆的同轴布线部；以及所述含有的所述上行用或者所述下行用的电缆从所述同轴布线部分支而与所述供电片和所述工件输送部中的一个连接的单线部，所述分支了的单线部的长度与所述工件输送部将所述工件向接近绕圈的线的方向送出的距离大致相等。

另外，其特征在于，具备：放电部，使被一并供给到所述线的所述加工电源向所述工件放电；以及电源部，对所述供电片供给用于所述放电加工的加工电源，所述电源部至所述供电片的电源布线的电阻小于所述供电片至所述放电部的线的电阻。

另外，其特征在于，所述电源部至所述供电片的电源布线的电阻小于0.1Ω。

通过本发明，能够提供即使对多根线一并供电了的情况下，也能够在极间放电加工稳定而防止加工能量依赖于线的根数产生偏差的结构。

附图说明

图1是从正面观察了本发明的线放电加工系统的图。

图2是从正面观察了本发明的线放电加工装置的图。

图3是从侧面观察了本发明中的供电片与线的配置关系的图。

图4是示出以往技术（单线放电加工系统）中的电气电路和各种部件的配置的图。

图5是示出以往技术（多线放电加工系统）中的电气电路和各种部件的配置的图。

图6是示出本发明中的极间状态（电压和电流）、和加工电源的脉冲（ON/OFF）周期的图。

图7是示出本发明中的电气电路和各种部件的配置的图。

图8是示出本发明中的电气电路和各种部件的配置的图。

图9是示出本发明中的电气电路和各种部件的配置的图。

图10是从正面观察了理想地配置了供电片和工件的情况的电缆布线的图。

图11是示出分别配置了主要由电感构成的布线电阻较大的此前的供电片和工件的情况的电缆布线的图。

图12是示出以使主要由电感构成的布线电阻变小的方式理想地配置了供电片和工件的情况的电缆布线的图。

图13是在本发明中的多个线之间比较了放电的上升时间τ的结果。