[发明专利]基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪

权利要求书

1.一种基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，包括进样系统、微等离子体源、为等离子体源提供放电的电源系统、等离子体发射光谱检测系统和检测光谱数据处理系统，进样系统的工作气出口与微等离子体源的工作气进口连接，检测系统的发射光采集端与微等离子体源的发射光出口对应设置，数据处理系统的信号输入端与检测系统的信号输出端连接，其特征在于，所述等离子体源为脉冲微型等离子体源，其两电极放电间距不大于5.0mm，所述电源系统为脉冲放电电源系统，工作时输出电压不小于100V，脉冲频率在0.1～100MHz内可调，脉冲的占空比为1:0.1～1000，所述进样系统、微等离子体源、脉冲放电电源系统和检测系统集成为一体。

2.根据权利要求1所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲电源系统的构成包括直流电源（22）、增压变压器（24）、脉冲控制开关（25）和脉冲发生器（23），增压变压器的输入端与直流电源连接，增压变压器的输出端与微等离子体源的放电电极连接，连接脉冲发生器的脉冲控制开关串接在升压变压器的接地回路上。

3.根据权利要求2所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述直流电源为干电池或利用交流电通过整流电路提供的直流电。

4.根据权利要求3所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲电源系统以及相应的驱动电路屏蔽于一个金属盒中。

5.根据权利要求1至4之一所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲放电电源系统输出工作电压为100V～8000V。

6.根据权利要求1至4之一所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲频率在300～3000Hz内可调。

7.根据权利要求1至4之一所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲放电电源系统的脉冲占空比为1:10～100。

8.根据权利要求1至4之一所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述脉冲微型等离子体源的等离子体空腔断面为矩形或圆形，所述脉冲微型等离子体源的放电电极为片状放电电极或针柱状放电电极，设置在等离子体空腔内接近等离子体出口处。

9.根据权利要求8所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，所述片状放电电极通过穿过等离子体空腔体壁的电极接线柱与脉冲放电电源系统中的正负电极连接，所述针柱状放电电极通过固定在等离子体空腔体上的接线固定座与脉冲放电电源系统中的正负电极连接。

10.根据权利要求1至4之一所述的基于微型等离子体的手持式化学挥发物检测仪，其特征在于，脉冲微型等离子体源的等离子体空腔进口与进样系统的等离子体工作气出口连接，或脉冲微型等离子体源的等离子体空腔通过套管结构的进气装置与等离子体维持气和样品气连接，样品气从进气装置的内管进入等离子体空腔，等离子体维持气从进气装置的环形夹套管进入等离子体空腔。