[发明专利]具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法

权利要求书

1.具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器，其特征在于，包括上下紧密贴合的顶板（2)和硅基板(1)；

所述硅基板（1)上表面通过反应离子刻蚀法沿长度方向刻蚀有贯穿的微沟槽（3），所述微沟槽（3)的水力直径为10um~3mm；

所述顶板（2）面向硅基板（1)的一面加工有电流体动力微泵，所述电流体动力微泵包括加工有梳齿状结构的发射极沟槽(4)和集电极沟槽(5)，所述发射极沟槽(4)和集电极沟槽(5)的深度为20-40μm，所述发射极沟槽(4)与集电极沟槽(5)平行交错分布，槽内均填镀有金，相邻的发射极沟槽(4)和集电极沟槽(5)构成一个电极对，同一电极对的集电极沟槽(5)与发射极沟槽(4)之间的距离为0.1mm~0.3mm，两个电极对之间的距离为电极对中两电极之间距离的2~3倍，所有发射极沟槽(4)末端与直流电源正极连接，所有集电极沟槽(5)末端与直流电源负极连接。

2.根据权利要求1所述的具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器，其特征在于，所述金的上表面还镀有一层厚度为0.5um~2um氮化铝薄膜。

3.根据权利要求1所述的具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器，其特征在于，所述换热器采用丙酮为冷却液。

4.根据权利要求1所述的具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器，其特征在于，所述顶板(2)材质为氮化铝。

5.根据权利要求1所述的具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器，其特征在于，所述顶板(2)底面形状大小与硅基板(1)的相一致。

6.一种如权利要求1至5任一项所述的具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器的制造方法，其特征在于，包括步骤：

(1)分别在顶板(2)上加工发射极沟槽(4)和集电极沟槽(5)、在硅基板(1)上通过反应离子刻蚀法沿长度方向刻蚀贯穿的微沟槽(3)，所述顶板(2)采用激光雕刻技术，在所述氮化铝的顶板(2)上雕刻出梳齿状所述发射极沟槽(4)和集电极沟槽(5)，并去除沟槽边缘的毛刺和棱角；

(2)采用沉金处理或者离子溅射工艺，将步骤（1）中发射极沟槽(4)与集电极的沟槽(5)镀满金，制备出发射极与集电极；

(3)采用蒸镀处理工艺，在步骤（2）处理后的顶板(2)表面镀一层厚度为0.5um~2um氮化铝薄膜；

(4)将处理后的顶板(2)与硅基板(1)采用键合技术密封封装。