[发明专利]光照射器

说明书

技术领域

本发明涉及通过长条的光源对对象物照射光的光照射器。

背景技术

作为长条的光源，以荧光灯为代表，已知有各种结构，但用于产业用的情况较多。例如作为紫外线光源而被周知的水银灯，有如高压水银灯或低压水银灯那样整体为棒状的灯，大多以通过光照射进行的对象物的处理等的目的使用。除此以外，在金属卤化物灯或LED等的光源中，也有如棒状那样长条的类型。在将对象物通过光照射进行处理的情况下，常可看到因对象物是宽幅的而使用在宽度方向上较长的光源的例子。

在长条的光源的背后通常配置反射镜。所谓“背后”，在以光照射的对象物所处的一侧为前侧的情况下是指其相反侧。

这样的光照射器当然设为考虑到维护的构造。维护中典型的是光源的更换。光源一般是消耗品，随着寿命的到来而需要更换。因此，光照射器具有可将光源更换地安装的构造。

此外，关于反射镜，也能够适当设为可维护的构造。例如，做成能够将反射镜的反射面清洁的构造，或做成能够进行反射镜的更换的构造。

专利文献1：日本专利4412090号公报

专利文献2：日本特开2011－222347号公报

在这样的光照射器中，由于光源过于长条，所以有维护用的构造变得非常难的情况。关于这一点，以在显示设备制造时使用的光照射器为例进行说明。以液晶显示器为代表的显示设备的基板尺寸逐年大型化。大型化在TV用等情况下为了成为大画面而必然基板尺寸变大，并且在从一片基板制造较多的显示设备的情况下，从生产性提高的观点看基板尺寸变大。

如果基板尺寸变大，则在制造工艺中包含有使用光照射器的光处理的情况下，使用的光源更加长条化。例如，在液晶显示器的制造中，作为得到取向膜的工艺，代替以往的摩擦而较多采用通过偏振光的照射得到取向膜的光取向的工艺。在光取向中，需要照射紫外线的偏振光的情况较多，高压水银灯那样的棒状的光源被使用。此时，随着基板尺寸的大型化，最近需要1500mm或其以上的非常长的灯的使用。

在这样的使用特别长条的光源的光照射器中，如果不特别设计维护用的构造，则有维护的作业变得非常难以进行、或仅为了维护就需要较大的空间的问题。例如，专利文献1公开了为了维护而使光源在其长度方向上拉出的构造。但是，在这样的构造中，如果光源变长，则在灯的长度方向上为了维护而需要变长的量的空间。在维护以外不需要这部分空间的情况下，从生产设备的省空间化的观点来看可视为问题。

发明内容

本发明是为了解决这样的问题而做出的，目的是提供一种即使在具备特别长条的光源的情况下也容易维护、并且不使用较大的空间的光照射器的构造。

为了解决上述问题，本发明的技术方案1所述的发明，具备长条的光源、和在光源的长度方向上延伸并将光源从背后覆盖的长条的反射镜；光源由光源保持框保持；反射镜由反射镜保持框保持；设有使反射镜保持框移动的移动机构；移动机构能够使反射镜保持框在从光源保持框分离的状态下移动，反射镜保持框的移动的朝向是与光源的长度方向垂直且反射镜从光源远离的朝向，移动的距离是能够进行光源的更换的距离。

此外，为了解决上述问题，技术方案2所述的发明，在上述技术方案1的结构中，具有以下的结构：在上述光源的与上述反射镜相反的一侧配置有照射侧光学元件，能够经由照射侧光学元件向对象物进行光照射；

照射侧光学元件由元件保持框保持；

上述移动机构能够使上述反射镜保持框及上述光源保持框在从元件保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直且上述光源及上述反射镜从照射侧光学元件远离的朝向，移动的距离是能够进行照射侧光学元件的清洁或更换的距离。

此外，为了解决上述问题，技术方案3所述的发明，在上述技术方案1的结构中，具有以下的结构：在上述反射镜的背后设有背后单元；上述移动机构能够使背后单元在从上述反射镜保持框及上述光源保持框分离的状态下移动，该移动的朝向是与上述光源的长度方向垂直的方向、且是背后单元从上述光源及上述反射镜远离的朝向，移动距离是能够进行上述反射镜的清洁或更换的距离。