[发明专利]一种静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片

权利要求书

1.一种静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片，其特征在于：所述传感器芯片包括两个固支振梁、驱动梳齿电容固定极板、检测平行板电容固定极板、一个质量块；所述质量块位于所述两个固支振梁之间；所述固支振梁上的一组平行极板与质量块上的一组平行极板构成平行板电容用于给固支振梁引入静电刚度，所述固支振梁上的另一组平行极板与检测平行板电容固定极板构成检测平行板电容；所述驱动梳齿电容固定极板沿固支振梁轴线对称分布；所述检测平行板电容固定极板与所述质量块上平行极板沿所述传感器芯片的中心线对称分布。

2.根据权利要求1所述的静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片，其特征在于：所述固支振梁的轴线两侧对称连接有多组驱动梳齿电容可动极板和两组平行板电容极板，其中一组平行板电容极板为检测平行板电容的可动极板，另一组平行板电容极板用于引入静电刚度。

3.根据权利要求2所述的静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片，其特征在于：所述的驱动梳齿电容可动极板与驱动梳齿电容固定极板组成驱动梳齿电容，驱动梳齿电容沿固支振梁对称分布，当固支振梁接地而两边的驱动梳齿电容固定极板分别施加带直流偏置的反相交流驱动电压，实现固支振梁的双边驱动。

4.根据权利要求1所述的静电刚度式硅微谐振加速度传感器芯片，其特征在于：所述的质量块上设置有用于防止平行电容极板吸合的位移阻挡块，所述位移阻挡块与附近锚点边缘在加速度敏感方向的间隙小于平行板电容极板初始间隙。