[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。

背景技术

AT切石英振动元件由于进行激励的主振动的振动模式是厚度剪切振动，适合小型化、高频率化，并且频率温度特性呈优异的三次曲线，因此，被用于压电振荡器、电子设备等多个方面。

在专利文献1中公开有具有薄壁的振动部和设于振动部全周的厚壁部的倒台面结构的AT切石英振动元件，该AT切石英振动元件在所述厚壁部的一端部通过粘接剂被固定在封装上。存在如下问题：在AT切石英振动元件被悬臂支持的状态下，对AT切石英振动元件施加厚度方向的加速度时，位于自由端侧的振动部发生振动（变形），振动特性（频率特性）不稳定。特别是在专利文献1记载的AT切石英振动元件中，由于在振动部的整个周围形成有厚壁部，前端部的重量较重，因此对加速度的影响较大，与此相应地，频率偏移量也变大。

专利文献1：日本特开2002-198772号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够降低由加速度（振动）等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性。

本发明正是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，可以作为以下的应用例而实现。

［应用例1］

本发明的振动元件的特征在于，该振动元件包含：

基板，其包含第1区域和第2区域，其中，该第1区域包含以厚度剪切振动的方式进行振动的振动区域，该第2区域与所述第1区域成为一体，厚度比所述第1区域厚；以及

激励电极，其分别设于所述振动区域的彼此处于正反关系的第1主面和第2主面，

所述第2区域包含：

第1厚壁部，其配置有安装于对象物的固定部；以及

第2厚壁部，其与所述第1厚壁部连接，

所述第2厚壁部在俯视时与所述固定部侧相反一侧的端部包含外缘部，该外缘部与所述厚度剪切振动的振动方向和垂直于所述厚度剪切振动的振动方向的方向交叉。

由此，可得到能够降低前端侧（与固定部相反一侧）的质量，降低由加速度（振动）等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性的振动元件。

［应用例2］

在本发明的振动元件中，优选的是，

所述第1区域包含：

与所述厚度剪切振动的振动方向交叉的一对第1外缘；以及

沿着所述厚度剪切振动的振动方向的一对第2外缘，

沿着所述一对第1外缘中的一方设置所述第1厚壁部，

沿着所述一对第2外缘中的至少一方设置所述第2厚壁部。

由此，可得到能够降低前端侧（与固定部相反一侧）的质量，降低由加速度（振动）等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性的振动元件。

［应用例3］

在本发明的振动元件中，优选的是，所述第2厚壁部包含：倾斜部，其与所述第2外缘连接设置，厚度朝向远离所述第2外缘的方向而逐渐增大；以及厚度恒定的厚壁部主体，其连接于所述倾斜部的与所述第2外缘相反一侧的端缘，

所述外缘部整体设置在所述厚壁部主体上。

由此，能够在较高地确保振动元件的刚性的同时，降低前端侧的质量。

［应用例4］

在本发明的振动元件中，优选的是，所述第2厚壁部包含：倾斜部，其与所述第2外缘连接设置，厚度朝向远离所述第2外缘的方向而逐渐正大；以及厚度恒定的厚壁部主体，其连接于所述倾斜部的与所述第2外缘相反一侧的端缘，

跨所述厚壁部主体和所述倾斜部设置所述外缘部。

由此，能够在确保振动元件的刚性的同时，进一步降低前端侧的质量。

［应用例5］

在本发明的振动元件中，优选的是，所述第2厚壁部包含：倾斜部，其与所述第2外缘连接设置，厚度朝向远离所述第2外缘的方向而逐渐正大；以及厚度恒定的厚壁部主体，其连接于所述倾斜部的与所述第2外缘相反一侧的端缘，

跨所述厚壁部主体、所述倾斜部以及第1区域设置所述外缘部。

由此，能够进一步降低前端侧的质量。

［应用例6］

在本发明的振动元件中，优选的是，当设在所述第2厚壁部的所述厚度剪切振动的振动方向上与所述激励电极并列的区域为第1厚壁部区域，与所述第1厚壁部区域相比所述固定部相反一侧的区域为第2厚壁部区域时，

跨所述第2厚壁部区域和所述第1厚壁部区域设置所述外缘部。

由此，能够在确保振动元件的刚性的同时，进一步降低前端侧的质量。