[发明专利]微气泡发生器及其制备方法

权利要求书

1.一种微气泡发生器，其特征在于，包括衬底、两个双层石墨烯电极和碳纳米管；所述两个双层石墨烯电极位于所述衬底上，电极间距为1～8μm，所述碳纳米管连接所述两个双层石墨烯电极，所述碳纳米管用作加热组件。

2.如权利要求1所述的微气泡发生器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）在生长有双层石墨烯的金属箔表面旋涂PMMA；

（2）去除金属箔，将PMMA保护的双层石墨烯转移至衬底上，热处理使双层石墨烯与衬底紧密结合；

（3）除去PMMA；

（4）氧等离子体反应刻蚀双层石墨烯，得到两个双层石墨烯电极以及连接两个电极的双层石墨烯纳米带；

（5）在真空条件下进行退火处理，使双层石墨烯纳米带边缘闭合形成碳纳米管，完成微气泡发生器的制备。

3.如权利要求2所述的微气泡发生器的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，所述热处理的温度为150℃，时间为10min。

4.如权利要求2或3所述的微气泡发生器的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，所述两个双层石墨烯电极的间距为1～8μm，所述双层石墨烯纳米带的宽度为10～40nm。

5.如权利要求2至4中任一项所述的微气泡发生器的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中，升温速率为130～850℃/ns，最高温度为1300～1700℃。