[发明专利]光学元件表面缺陷筛查装置和筛查方法

权利要求书

1.一种光学元件表面缺陷筛查装置，特征在于其构成包括：脉冲激光源（1）、电动位移台（2）、聚焦透镜（3）、PIN管（4）、数据采集卡（5）、计算机（6）和固定件（7），待测的光学元件（8）通过所述的固定件（7）固定在所述的电动位移台（2）上，在所述的脉冲激光源（1）照射在所述的光学元件（8）上反射后，在该反射光束方向依次设置所述的聚焦透镜（3）和PIN管（4），所述的PIN管（4）位于所述的该聚焦透镜（3）的像平面；所述的PIN管（4）输出的信号经所述的数据采集卡（5）采集送所述的计算机（6），所述的计算机（6）的输出端接所述的电动位移台（2）的控制端。

2.根据权利要求1所述的光学元件表面缺陷筛查过程的记录装置，其特征在于所述的计算机（6）控制所述的电动位移台（2）的运动速度、运动距离,同时控制所述的数据采集卡与所述的脉冲激光源（1）的脉冲时钟同步。

3.利用权利要求1所述的光学元件表面缺陷筛查装置进行光学元件表面缺陷筛查的方法，其特征在于该方法包括下列步骤：

①将待测的光学元件（8）通过所述的固定件（7）固定在所述的电动位移台（2）上，启动所述的计算机驱动并控制所述的电动位移台（2）将所述的脉冲激光源（1）输出的脉冲激光移动到待测光学元件（8）扫描的起点，设定所述的脉冲激光源（1）输出的脉冲激光的脉冲间隔为Δt，设电动位移台（2）的运动速度为υ；

②所述的计算机同步控制所述的脉冲激光源（1）、电动位移台（2）和数据采集卡（5）同步工作：当所述的脉冲激光源（1）的第一个脉冲辐照所述的待测光学元件（8）的同时，所述的数据采集卡开始工作，数据采集卡以时间t₀为起点，在单脉冲内采集m个有效电压值u₁,u₂,u₃…u_n…u_m并输入计算机（6）,再通过计算机（6）对所述的m个数据采用求和计算第一个脉冲的电压记为V₁，所述的脉冲激光源（1）对所述的待测光学元件（8）进行扫描，以后依次记为V₂,V₃…V_N；

③电压序列V₁、V₂,V₃…V_N，设置一个允许的最大变化值ΔV，当电压V_i的变化大于ΔV时，记为V_k，确定光学元件上对应的点就是一个缺陷点，记录从开始扫描到该缺陷点出现的时间为k*Δt，则位移台工作距离为υ*k*Δt，由于光学元件的尺寸已知，得到缺陷点的具体位置信息，同时，根据V_k的大小值确定缺陷点的相对大小。