[发明专利]一种同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置和方法

权利要求书

1.一种同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置，包括有：真空反应室，设置在所述真空反应室内的两个极板相对的水电极，以及与所述水电极电连接的等离子体发生电源，其特征是，在其中一个所述水电极靠近中心的放电介质板的内壁上粘有聚乙烯板，在所述聚乙烯板上刻蚀有呈矩形阵列排布的圆孔，在两个所述水电极之间设置有作为放电边界的玻璃边框。

2.根据权利要求1所述的同时产人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置，其特征是，所述聚乙烯板厚度为0.1~2mm，所述圆孔直径为0.1~2mm，所述圆孔之间的间隔为1~7mm，所述玻璃边框的厚度为0.1~2mm。

3.根据权利要求2所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置，其特征是，所述聚乙烯板厚度为1mm，所述圆孔直径为1mm，所述圆孔之间的间隔为5mm，所述玻璃边框的厚度为1.7mm。

4.根据权利要求1所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置，其特征是，在所述真空反应室内注有放电气体，所述放电气体为空气与氩气组合成的混合气体，所述放电气体的气压可调。

5.根据权利要求书4所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的装置，其特征是，所述真空反应室的放电气体中的氩气含量为混合气体的30~70%，所述放电气体气压为0.2×10⁵~0.5×10⁵Pa。

6.一种同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的方法，其特征是，包括以下步骤：

a、设置一个真空反应室，并在所述真空反应室内设置两个极板相对的水电极，将所述水电极与等离子体发生电源电相连；

b、在其中一个所述水电极靠近中心的放电介质板内壁粘有聚乙烯板，并且所述聚乙烯板上刻蚀有呈矩形阵列排布的圆孔；

c、在两个所述水电极之间设置有作为放电边界的玻璃边框；

d、打开电源，等离子体发生电源作用于两个水电极，即可在两个所述水电极之间产生人工等离子体光子晶体和自组织等离子体光子晶体。

7.根据权利要求6所述的同时产人工和自组织复合等离子体光子晶体的方法，其特征是，所述聚乙烯板厚度为0.1~2mm，所述圆孔直径为0.1~2mm，所述圆孔之间的间隔为1~7mm，所述玻璃边框的厚度为0.1~2mm。

8.根据权利要求7所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的方法，其特征是，所述聚乙烯板厚度为1mm，所述圆孔直径为1mm，所述圆孔之间的间隔为5mm，所述玻璃边框的厚度为1.7mm。

9.根据权利要求1所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的方法，其特征是，在所述真空反应室内注有放电气体，所述放电气体为空气与氩气组合成的混合气体，所述放电气体的气压可调。

10.根据权利要求书4所述的同时产生人工和自组织复合等离子体光子晶体的方法，其特征是，所述真空反应室的放电气体中的氩气含量为混合气体的30~70%，所述放电气体气压为0.2×10⁵~0.5×10⁵Pa。