[发明专利]一种平行平面间距测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和高度规，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，所述双向调节测量装置包括两个一维微分头调节平移台和两个具有探头的测量仪，测量仪通过支撑杆固定在所述一维微分头调节平移台上；测量时使所述双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触，通过所述高度规测量所述双向调节测量装置探头间距离。

2.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪为千分表。

3.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪探头与被测量平面为点接触。

4.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述测量仪探头与被测量平面为柔性接触。

5.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述双向调节测量装置为多组。

6.如权利要求1所述的平行平面间距测量装置，其特征在于：所述旋转台的调节范围为360°。

7.一种如权利要求1至6任一项所述的平行平面间距测量装置的使用方法，包括以下步骤：

a)固定双向调节测量装置和高度规的位置，使双向调节测量装置的探头分别位于上、下测量平面之间；

b)调节两个一维微分头调节平移台，使双向调节测量装置的探头分别与上测量平面的下表面和下测量平面的上表面接触并记录双向调节测量装置的读数；

c)旋转旋转台，使双向调节测量装置的上探头与高度规的上量块下表面接触，记录双向调节测量装置的读数；

d)调节双向调节测量装置的下探头与高度规的下量块的上表面接触，记录双向调节测量装置的读数；

e)读取高度规下量块的上表面与上量块的下表面间距数据。