[发明专利]一种机械调制的硅电容式加速度计

权利要求书

1.一种机械调制的硅电容式加速度计，包括基片、硅片和金属电极，其特征在于：

所述硅片包括中心质量块（100）；所述中心质量块（100）包括内部中频活动部分（601）和围绕在所述内部中频活动部分（601）四周的外部低频活动部分（602），所述内部中频活动部分（601）和外部低频活动部分（602）之间通过梁（701）相连；

所述金属电极包括：位于所述中心质量块附近的质量块电极（101），所述质量块电极（101）通过梁（702）与所述中心质量块（100）相连；位于所述中心质量块附近的反馈负电极（202）、反馈正电极（201）；位于所述内部中频活动部分（601）附近的驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）、驱动检测负电极（402）、外界加速度检测正电极（301）、外界加速度检测负电极（302）、、驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）和驱动检测负电极（402）。

2.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述质量块电极（101）用于约束活动的中心质量块（100）并将其电信号引出；所述外界加速度检测正电极（301）、外界加速度检测负电极（302）、驱动正电极（501）、驱动负电极（502）、驱动检测正电极（401）、驱动检测负电极（402）、反馈负电极（202）和反馈正电极（201）均为梳状电极。

3.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述内部中频活动部分（601）是由驱动正电极（501）和驱动负电极（502）通过升频驱动方法利用高频电信号来进行驱动的。

4.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述外界加速度检测正电极（301）和外界加速度检测负电极（302）是通过将驱动检测正电极（401）和驱动检测负电极（402）检出的信号作为载波的方式来检测外界加速度的。

5.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述外界加速度检测正电极（301）和外界加速度检测负电极（302）是通过直接检测幅值的方式来检测外界加速度的。

6.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述内部中频活动部分（601）的一阶自振频率高于所述中心质量块（100）的一阶自振频率，且所述内部中频活动部分（601）和所述中心质量块（100）的振型方向相互正交。

7.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述硅电容式加速度计的检测精度通过减小工作气压的方式来提高，且所述检测精度最高与大气压值成反比。

8.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述硅电容式加速度计由SOG生产工艺制成。

9.根据权利要求1所述的机械调制的硅电容式加速度计，其特征在于，所述内部中频活动部分（601）和所述外部低频活动部分（602）之间通过解耦结构相连。