[发明专利]钇系高温超导薄膜的制备方法

权利要求书

1.钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：

步骤1，采用钇系超导薄膜用前驱溶液制备凝胶薄膜，然后将凝胶薄膜干燥，得到凝胶干膜；

步骤2，将步骤1得到的凝胶干膜转入石英管式炉中进行热分解；

步骤3，对经过步骤2处理的凝胶干膜通入干氮气，温度升至600～650℃时将气氛切换成H₂O/H₂O₂/N₂混合气氛或H₂O/H₂O₂/Ar混合气氛后升温至740～790℃保温，然后将气氛切换成干氮气保温后冷却，当温度降至400～500℃后将气氛切换成干氧气并保温，最后冷却至室温后将气氛关闭，即得到钇系高温超导薄膜。

2.根据权利要求1所述的钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1中凝胶薄膜的制备过程为：将钇系超导薄膜用前驱溶液结合浸渍提拉、旋转涂覆或喷墨打印法在铝酸镧、钛酸锶单晶基片或带有缓冲层的NiW合金带材上制备得到凝胶薄膜；凝胶薄膜的干燥是在空气下，低于100℃下干燥5～20min。

3.根据权利要求1或2所述的钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，所述钇系超导薄膜用前驱溶液中金属离子摩尔比RE：Ba²⁺：Cu²⁺=1-1.3：2：3-3.6，其中，RE为Y，Gd，Dy，Ho中的一种或两种。

4.根据权利要求1所述的钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2中热分解的具体实施过程为：向石英管式炉中通入H₂O/O₂混合气氛或O₂/H₂O/H₂O₂混合气氛，并以2～10℃/min的速率升温至400～500℃，保温5～10min后随炉冷却至室温。

5.根据权利要求1所述的钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3的具体实施过程为：将经过步骤2处理的凝胶干膜通入干氮气30min后以15～25℃/min的速率升温至600～650℃时将气氛切换成H₂O/H₂O₂/N₂混合气氛或H₂O/H₂O₂/Ar混合气氛，继续升温至740～790℃后保温1～2h，然后将气氛切换成干氮气并保温10～30min后随炉冷却至400～500℃后将气氛切换成干氧气并保温2～4h，最后随炉冷却至室温后将气氛关闭，即可。