[发明专利]一种基于驻极体的静电式转速传感器有效
| 申请号： | 201410007209.0 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN103760378B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 边潍;伍晓明;王晓红 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P3/44 | 分类号： | G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 驻极体 静电 转速 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，主要由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘。
2.根据权利要求1所述的基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，所述衬底为绝缘材料或在金属衬底上喷涂绝缘材料制作绝缘层。
3.根据权利要求1所述的基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，所述电极通过溅射-光刻-刻蚀的方法制造成型。
4.根据权利要求1所述的基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，所述驻极体的材料为聚四氟乙烯、聚四氟乙烯、聚全氟乙丙烯、聚丙烯、聚乙烯、聚偏氟乙烯或SiO2/Si3N4。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410007209.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水生蔬菜或花卉与黄鳝的生态养殖方法
- 下一篇：一种活性炭的制备方法
