[发明专利]波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、波长可变干涉滤波器的制造方法、光学模块以及电子设备。

背景技术

在现有技术中，已知有如下所述的波长可变干涉滤波器：在一对基板的彼此相对的面上，分别相对地配置反射膜，通过使该反射膜间的间隙尺寸发生变化，从入射光中选择规定波长的光，并使其透过。

在这样的波长可变干涉滤波器中，在使用例如Ag、Ag合金等作为反射膜的情况下，存在反射膜由于大气或大气中的水分子等异物的附着而产生劣化的可能性。

针对于此，存在对设置有反射膜、电极的空间进行气密密封，并使该气密密封后的空间成为真空的波长可变干涉滤波器（例如，参照专利文献1）。

在该专利文献1的滤波器检测器中，对形成有反射膜的一对基板中的一个，以夹着另一个基板的方式接合有其它的基板，由此，设置有反射膜、构成致动器的电极的空间在真空状态下被气密密封。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特表平10-511772号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1中，使用了硅基板作为基板，因此，可以经由该硅基板对电极施加电压。但是，对于硅基板，无法使例如可见光范围等的光透过。在使可见光范围等的光透过的波长可变干涉滤波器中，使用玻璃等非导电性部件作为基板，因此，在上述专利文献1这样的构成中，存在无法对气密密封空间内的电极施加电压的课题。

本发明的目的在于提供可以对气密密封空间内的电极施加电压的波长可变干涉滤波器、波长可变干涉滤波器的制造方法、光学模块以及电子设备。

解决课题的手段

本发明的波长可变干涉滤波器其特征在于，具备：第一基板；与所述第一基板相对配置的第二基板；第一反射膜，设置在所述第一基板上，反射入射光的一部分而使一部分透过；第二反射膜，在所述第二基板上与所述第一反射膜相对设置，反射入射光的一部分而使一部分透过；间隙变更部，用于变更所述第一反射膜以及所述第二反射膜之间的间隙尺寸；布线部，与所述间隙变更部连接；以及第三基板，具备顶面部以及侧壁部，所述侧壁部从所述顶面部位于所述第一基板侧，在从所述顶面部的厚度方向观察的俯视观察中，所述侧壁部的形状为框状，其中，所述第三基板的侧壁部的与所述第一基板相对的端面以及所述第一基板接合，由所述第三基板的顶面部、所述侧壁部以及所述第一基板围成的空间被气密密封，在所述空间内配置有所述第二基板以及所述间隙变更部，所述布线部设置于所述第一基板，跨所述空间的内外而延伸。

根据本发明，布线部设置于第一基板，跨由顶面部、侧壁部以及第一基板围成的被气密密封的空间的内外而延伸。由此，可以从引出至气密密封的空间之外的布线部对间隙变更部施加电压。此外，与将波长可变干涉滤波器收纳（封装）在内部被维持气密的壳体中的构成相比，以芯片单体即可气密密封所述空间，因此，可以使波长可变干涉滤波器小型化。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选所述间隙变更部具备设置于所述第一基板的第一电极、以及设置于所述第二基板且与所述第一电极相对配置的第二电极，在所述第二基板上设置有与所述第二电极连接的连接电极，并且，所述布线部具备与所述第一电极连接的第一引出电极、以及与所述连接电极连接的第二引出电极。

根据本发明，可以由设置于第一基板的布线部来进行设置于第二基板的第二电极所连接的布线的引出。因此，可以将引出用布线集成在第一基板上，能够降低制造成本。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选具备：接合部件，所述接合部件设置于所述第三基板的所述侧壁部的端面以及所述第一基板之间，用于接合所述端面以及所述第一基板，其中，所述布线部通过设置有所述接合部件的区域，跨所述空间的内外而延伸。

根据本发明，无需对第一基板实施用于引出布线的特别加工，因此，能够降低制造成本。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选在所述第一基板中的与所述侧壁部的所述端面相对的位置上设置有槽，且所述布线部在所述槽内延伸。

根据本发明，在侧壁部的端面和第一基板的接合部位，与未形成有槽的情况相比，布线部的表面与第一基板的表面的高低差变小。或者，成为布线部的表面低于第一基板的表面的状态。由此，可以抑制第三基板倾斜，可以无间隙地接合侧壁部的端面和第一基板，能够进一步提高所述空间的气密性。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选所述接合部件是低熔点玻璃。