[发明专利]制备高导无氧铜镀层的镀液及制备高导无氧铜镀层的工艺在审
申请号: | 201410000809.4 | 申请日: | 2014-01-02 |
公开(公告)号: | CN103757670A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 陈尊科 | 申请(专利权)人: | 陈尊科 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑莹 |
地址: | 510250 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 高导无氧铜 镀层 工艺 | ||
1.一种制备高导无氧铜镀层的镀液,其特征在于:包括以下成份:190-220g/L的CuSO4·5H2O,60-100g/L的H2SO4,30~60mg/L的Cl-,0.4~0.8mL/L的C-7A酸性镀铜光泽剂,0.3~0.5mL/L的C-7B酸性镀铜光泽剂,5~10mL/L的C-7C酸性镀铜开缸剂。
2.一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:包括步骤:以高纯度磷铜为阳极,以工件为阴极,在权利要求1所述的镀液中进行电镀即可。
3.根据权利要求2所述的一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:所述的高纯度磷铜中,铜含量>99.5%,磷含量0.3%±0.1。
4.根据权利要求2所述的一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:电镀的温度为20~35℃。
5.根据权利要求2所述的一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:电镀过程中,工件与镀液相对运动。
6.根据权利要求2所述的一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:电镀过程中,阴极电流密度:1~3A/dm2。
7.根据权利要求2所述的一种制备高导无氧铜镀层的工艺,其特征在于:电镀过程中,阳极电流密度:0.5~2A/dm2。
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