[其他]具有分段式焦平面阵列的系统有效

专利信息
申请号: 201390001101.X 申请日: 2013-12-12
公开(公告)号: CN204927290U 公开(公告)日: 2015-12-30
发明(设计)人: B·西蒙朗;E·A·库尔特;M·纳斯迈耶;N·霍根斯特恩;T·R·赫尔特;K·斯特兰德玛;P·布朗热;B·夏普 申请(专利权)人: 菲力尔系统公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G01J5/20
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 武晨燕;迟姗
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 段式 平面 阵列 系统
【权利要求书】:

1.一种具有分段式焦平面阵列的系统,其特征在于,该分段式焦平面阵列包括:

第一裸片,其包括适于从场景接收红外辐射的有源辐射热计探测器的阵列;

第二裸片,其相对于所述第一裸片堆叠并且至少包括读出集成电路的一部分;以及

多个裸片间连接部件,其适于在所述第一裸片和所述第二裸片之间传递信号,其中,传递的信号用于产生对应于在所述有源辐射热计探测器接收的所述红外辐射的输出值。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:

所述分段式焦平面阵列包括帽,所述帽适于密封所述第一裸片的至少一部分;以及

所述第一裸片和所述帽形成真空封装组件。

3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一裸片包括一个或多个热短路的辐射热计探测器和适于调整与所述有源辐射热计探测器相关的偏压信号以补偿所述第一裸片的温度变化的伴随电路。

4.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:

所述传递的信号包括检测信号,所述检测信号由至少一个所述有源辐射热计探测器响应于所述辐射而提供并且通过至少一个裸片间连接部件从所述第一裸片传递到所述第二裸片;以及

所述第二裸片的读出集成电路的一部分包括:

积分器,其适于响应于所述检测信号而提供模拟信号,以及

模数转换器,其适于响应于所述模拟信号而提供至少一个输出值。

5.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一裸片至少包括读出集成电路的另一部分。

6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于:

所述读出集成电路的第一裸片部分包括适于响应于检测信号而提供模拟信号的积分器,所述检测信号由至少一个所述有源辐射热计探测器响应于所述辐射而提供;

所述传递的信号包括通过至少一个裸片间连接部件从所述第一裸片传递到所述第二裸片的模拟信号;以及

所述读出集成电路的第二裸片部分包括适于响应于所述模拟信号而提供至少一个输出值的模数转换器。

7.根据权利要求5所述的系统,其特征在于:

所述读出集成电路的第一裸片部分包括:

积分器,其适于响应于检测信号而提供模拟信号,所述检测信号由至少一个所述有源辐射热计探测器响应于所述辐射而提供;

采样和保持电路,其适于响应于所述模拟信号而捕获电压,以及

比较器;

所述读出集成电路的第二裸片部分包括斜坡发生器;

所述传递的信号包括斜坡信号,所述斜坡信号由所述斜坡发生器提供并且通过至少一个裸片间连接部件从所述第二裸片传递到所述第一裸片;以及

所述比较器适于从所述采样和保持电路接收捕获的电压并基于所述捕获的电压和所述斜坡信号选择至少一个所述输出值。

8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:

所述传递的信号包括稳定电压;并且

所述第二裸片进一步包括低压差稳压器,其适于通过至少一个裸片间连接部件向所述第一裸片提供所述稳定电压。

9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述裸片间连接部件包括硅通孔。

10.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述裸片间连接部件包括微型凸块。

11.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,使用不同的半导体制造工艺制造所述第一裸片和所述第二裸片。

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