[其他]洁净室除湿空调设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种洁净室(clean room)除湿空调设备，更为详细地涉及一种洁净室除湿空调设备，其通过利用另外的压缩机(compressor)，向洁净室内腔(chamber)供给干燥空气的方式，执行对洁净室内腔内部空间的除湿功能，以便防止外部空气的流入，即使像夏季时外部空气湿度高的情况下，也能很好地维持洁净室内腔内部空间的干燥状态，并且通过利用压缩机供给干燥空气，可以防止洁净室内腔内部空间氧气不足的现象，所以在防止产品不良的同时还可以防止作业者的健康威胁。所述设备通过对现有空调机原封不动地运用，从而可以根据外部环境有选择性的应用通过空调机的除湿组件的冷却除湿方式或利用压缩机干燥空气的除湿方式，以便更加高效地使用。

背景技术

一般情况下，半导体元件，平版显示器面板，以及微小电子元件等，其在制造时要求高洁净度，因此在洁净室可完成其制造。洁净室可维持一定标准的温度、湿度、及微粒(particle)(灰尘等微小(micro)单位的微小颗粒等)等，其在制造阶段可防止次品的产生。

洁净室内部空间配置了另外的空调设备，以便维持所述的洁净环境，但通过利用空调设备进行空气循环，可在内部空间调节温度、湿度等，防止微粒进入。特别是，像当下的尖端电子部件或芯片等产品对湿度及其敏感，为了不因湿气损伤这些产品，所以洁净室内部空间的除湿功能更加重要。

图1是对根据现有技术的一般洁净室除湿空调设备的构成进行概念性示出的概念图。

洁净室除湿空调设备的构成包括：洁净室内腔(chamber)100，其密闭形成为在内部形成有洁净空间；空调机200，其对洁净室内腔100内部空间的空气进行循环。洁净室内腔100的一侧安装有节气门(air damper)110，以便维持内部空间的正压，且在内部空间安装有温湿度传感器300，所述温湿度传感器300可测定洁净室内腔100内部的温度及湿度。

空调机200配置在洁净室内腔100的内部，在一侧和另一侧形成有空气流入口202和空气流出口201，并且在内部安装有鼓风机(未图示)等，以便利用其循环空气。所述空调机200在循环空气的过程中也将执行除湿功能，为此，在内部安装有除湿组件210，其构成可使通过空气流入口202进入的空气，通过除湿组件210以除湿干燥的状态通过空气流出口201排出。此时，除湿组件210一般使用制冷机，其用冷却方式执行除湿功能。

如所述构成的洁净室除湿空调设备因为在洁净室内腔100内部空间形成正压,所以外部空气从基本上无法流入，但因为根据作业者的出入等特定状况导致的压力变化，具备外部空气只能通过节气门110等流入的结构。另外，在空调机200本体上也具备流入并循环外部空气的结构,以便对净室内腔100内部空间供给氧气。

如所述，根据现有技术的洁净室除湿空调设备因为是外部空气流入至洁净室内腔100内部空间，所以像夏季外部空气湿度高的情况下，根据外部空气的流入可导致洁净室内腔100内部空间的湿度上升，由此，会出现如半导体部件或生物制品等尖端产品，因湿气受损等问题。

为解决所述问题，仅在夏季，特别以切断节气门110来完全切断外部空气流入的方式，启动空调设备。在此情况下，会出现因洁净室内腔100内部空间氧气供给中断而氧气不足，从而导致的作业者健康受到威胁或工作效率下降等问题。

发明内容

本发明作为解决现有技术缺陷的一项发明，本发明的目的在于提供一种洁净室除湿空调设备，其通过利用另外的压缩机(compressor)，向洁净室内腔供给干燥空气的方式，执行对洁净室内腔内部空间的除湿功能，从而阻止外部空气的流入，在像夏季外部空气湿度高的情况下，也能很好地维持洁净室内腔内部空间的干燥状态。并且通过利用压缩机的供给干燥空气，可防止洁净室内腔内部空间氧气不足现象，进而在防止不良产品的同时也可防止作业者的健康威胁。

本发明的另一目的在于提供一种洁净室除湿空调设备，其通过原封不动地运用现有技术，从而根据外部环境的变化可有选择的应用通过利用空调机的除湿组件的冷却除湿方式或利用压缩机的干燥空气的除湿方式，从而更为高效地使用。

本发明的又另一目的在于提供一种洁净室除湿空调设备，其利用另外的喷射器(injector)在洁净室内腔内部空间循环压缩机的干燥空气，从而即使不额外启动空调机也能提高能效。

依据熟知本发明技术领域的人从本发明的优选实施例将更加明确本发明的所述目的和各种优点。