[发明专利]荧光X射线分析方法及荧光X射线分析装置

权利要求书

1.一种荧光X射线分析方法，其向以分子式已知的有机物作为主要成分的试样照射X射线，利用测量从该试样释放的X射线所得到的结果，对该试样中含有的所述主要成分以外的含有成分进行定量，所述荧光X射线分析方法的特征在于，

a)根据测定出的荧光X射线的能量，确定所述含有成分的种类；

b)根据来自所述试样的荧光X射线强度的测定值，设定所述含有成分的定量值；

c)根据来自所述试样的散射X射线强度的测定值，以及假设试样由所述主要成分构成且照射的X射线全部入射到试样而计算出的散射X射线强度的理论值，计算表示对于所述试样的X射线的照射率的面积占有率；

d)根据使用所述含有成分的定量值以及所述面积占有率而计算出的荧光X射线强度的理论值与所述荧光X射线强度的测定值的比较结果，再计算所述含有成分的定量值；

e)根据使用再计算后的所述含有成分的定量值以及所述面积占有率而计算出的散射X射线强度的理论值与所述散射X射线强度的测定值的比较结果，再计算所述面积占有率；

f)反复进行所述含有成分的定量值的再计算以及所述面积占有率的再计算，将再计算后的定量值和/或所述面积占有率满足预先设定的收敛条件时的定量值作为所述含有成分的确定定量值。

2.一种荧光X射线分析装置，其向以分子式已知的有机物作为主要成分的试样照射X射线，利用测量从该试样释放的X射线所得到的结果，对该试样中含有的所述主要成分以外的含有成分进行定量，所述荧光X射线分析装置的特征在于，其包括，

a)含有成分确定部，其根据测定出的荧光X射线的能量，确定所述含有成分的种类；

b)定量值设定部，其根据来自所述试样的荧光X射线强度的测定值，设定所述含有成分的定量值；

c)面积占有率计算部，其根据来自所述试样的散射X射线强度的测定值，以及假设试样由所述主要成分构成且照射的X射线全部入射到试样而计算出的散射X射线强度的理论值，计算表示对于所述试样的X射线的照射率的面积占有率；

d)定量值再计算部，其根据使用所述含有成分的定量值以及所述面积占有率而计算出的荧光X射线强度的理论值与所述荧光X射线强度的测定值的比较结果，再计算所述含有成分的定量值；

e)面积占有率再计算部，其根据使用再计算后的所述含有成分的定量值以及所述面积占有率而计算出的散射X射线强度的理论值与所述散射X射线强度的测定值的比较结果，再计算所述面积占有率；以及，

f)定量值确定部，其反复执行所述定量值再计算部的计算以及所述面积占有率再计算部的计算，将再计算后的定量值和/或所述面积占有率满足预先设定的收敛条件时的定量值确定为所述含有成分的确定定量值。