[发明专利]气相色谱质量分析装置

说明书

在试样气化室(12)与MS部(2)之间的载气的流路(17)上连接有柱保护气体供给路径(4)。在待机中，经由柱保护气体供给路径(4)供给柱保护气体，由此能够在与柱保护气体供给路径(4)和载气的流路(17)的合流部(16)相比靠下游侧保护柱(11)。此时，成为在与合流部(16)相比靠上游侧的载气的流路(17)中仍残留载气的状态。因而，在之后开始分析时供给了载气的情况下，在流路(17)内已经存在某种程度的载气。由此，用于将流路(17)内的气体从柱保护气体完全替换为载气的时间变短，因此能够缩短到分析开始为止的待机时间。

技术领域

本发明涉及一种将含有试样成分的载气导入柱内，通过使在该柱内分离出的试样成分在真空腔室内进行离子化来进行质量分析的气相色谱质量分析装置。

背景技术

在气相色谱质量分析装置(GC/MS)中具备气相色谱部和质量分析部。与载气一起被供给到气相色谱部的柱内的各试样成分在通过柱的过程中按每种试样成分进行分离，并被依次导入质量分析部来进行离子化，由此进行质量分析(例如参照下述专利文献1)。

图4是表示以往的气相色谱质量分析装置的结构例的概要截面图。在该气相色谱质量分析装置中具备气相色谱部(GC部101)和质量分析部(MS部102)。

在GC部101中例如具备柱111、试样气化室112、柱加热炉113以及AFC(Auto FlowController：流量自动控制器)114。试样成分与载气一起从试样气化室112被供给到柱111。柱111设置在柱加热炉113内，在分析中能够一边利用柱加热炉113内的加热器(未图示)对柱111进行加热，一边向柱111内供给试样成分。

作为载气，例如使用He气。载气能够经由AFC 114供给到试样气化室112，在分析中能够利用该AFC 114调整向试样气化室112供给的载气的流量。

在MS部102中具备真空腔室(未图示)，能够使该真空腔室内成为真空状态。在分析中能够将在柱111内分离出的试样成分导入成为真空状态的真空腔室内来进行离子化，并用离子检测器(未图示)检测该离子，由此进行质量分析。

在这种气相色谱质量分析装置中，在分析结束后切断了装置的电源的情况下，即使在进行下一次分析时接通电源，直到MS部102的真空腔室内变为真空为止也要耗费时间。因此，即使在分析结束后到进行下一次分析之前有时间富余的情况下，也大多保持接通装置的电源的状态待机。

然而，在接通了装置的电源的状态下不流通载气而长时间待机的情况下，有可能由于MS部102的离子源变得高温等而导致柱111(特别是MS部102的正前方的部分)劣化。因此，在待机中有时向柱111内流通柱保护气体以保护柱111。

作为柱保护气体，例如使用N₂气体。在图4的例子中，柱保护气体经由AFC 114被供给到试样气化室112，并从试样气化室112流到柱111内。在AFC114的上游侧，在载气(He气体)的流路103中设置有开闭阀131，在柱保护气体(N₂气体)的流路104中设置有开闭阀141。

由此，在分析中，通过将开闭阀131设为打开状态、将开闭阀141设为关闭状态，能够经由试样气化室112向柱111供给载气。另一方面，在待机中，通过将开闭阀131设为关闭状态、将开闭阀141设为打开状态，能够经由试样气化室112向柱111供给柱保护气体。

专利文献1：日本特开2013-44647号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述那样的以往的气相色谱质量分析装置中，在待机中，AFC 114、试样气化室112以及柱111内成为充满柱保护气体的状态。因而，在之后开始进行分析时，需要在通过供给载气来将AFC 114、试样气化室112以及柱111内的柱保护气体替换为载气之后开始进行分析。