[发明专利]MEMS光纤开关

权利要求书

1.一种光开关，包括：

多条光纤，以一阵列设置，所述多条光纤包括一条或多条输入光纤以及 多条输出光纤；

一微机电(MEMS)反射镜，设置成将来自一输入光纤的光能够控制地 反射到所述多条输出光纤中的一特定的目标输出光纤，其中，所述MEMS 反射镜的位置能够控制，以从所述多条输出光纤中的一第一目标输出光纤切 换到一第二目标输出光纤，而且其中，所述MEMS反射镜的位置采用多个竖 向交错的梳齿驱动器来控制。

2.如权利要求1所述的光开关，其中，所述反射镜被控制成提供从所述 第一目标输入光纤到所述第二目标输入光纤的一切换轨迹，所述切换轨迹不 横穿所述多条光纤中的任何其它光纤。

3.如权利要求1所述的光开关，其中，所述MEMS反射镜包括两个轴， 而且其中，各个轴均能沿顺时针方向及逆时针方向旋转，从而使所述MEMS 反射镜均能沿的x和y坐标方向以正、负方向旋转。

4.如权利要求2所述的光开关，其中，所述两个轴在结构上设置成第二 轴位于第一轴的结构内，从而所述第一轴连同所述第二轴的结构作为一整体 旋转，而所述第二轴能独立地旋转。

5.如权利要求1所述的光开关，其中，一特定竖向交错的梳齿驱动致动 器包括上梳齿电极以及下梳齿电极，其中，所述上下电极相对彼此上下空间 分布，从而当一电势差应用在所述上下梳齿电极之间时，一力将所述上下梳 齿电极拖在一起，而使得所述MEMS反射镜沿一特定轴对应旋转。

6.如权利要求4所述的光开关，其中，所述竖向交错的梳齿驱动致动器 选择性地被驱动，以改变所述MEMS反射镜的角度位置，从而由所述MEMS 反射镜反射的光被导向至所述第二目标输出光纤。

7.如权利要求1所述的光开关，其中，所述多条光纤设置于一插芯内。

8.如权利要求1所述的光开关，还包括：一透镜，设置在所述多条光纤 和所述MEMS反射镜之间。

9.如权利要求1所述的光开关，还包括：一控制电路，用于控制所述 MEMS反射镜。

10.一种光开关，包括：

多条光纤，以一阵列设置，所述多条光纤包括一条或多条输入光纤以及 多条输出光纤；

一微机电(MEMS)反射镜，设置成将来自一输入光纤的光能够控制地 反射到所述多条输出光纤中的一特定的目标输出光纤，其中，所述MEMS 反射镜的位置能够控制，以从所述多条输出光纤中的一第一目标输出光纤切 换到一第二目标输出光纤，而且其中，所述MEMS反射镜的位置采用联接于 所述MEMS反射镜的多个双压电晶片悬臂来控制。

11.如权利要求10所述的光开关，其中，所述MEMS反射镜基于特定悬 臂的变形而沿+x轴、-x轴、+y轴或-y轴旋转。

12.如权利要求11所述的光开关，其中，各悬臂包括具有不同热膨胀系 数的双压电晶片材料，而且其中，一悬臂的扭转通过应用一电流流经该悬臂 来加热所述双压电晶片材料而产生。

13.如权利要求11所述的光开关，其中，各悬臂包括双压电晶片材料的 一双S折叠结构。

14.如权利要求11所述的光开关，其中，所述MEMS反射镜通过四对悬 臂来控制，所述四对悬臂提供所述MEMS反射镜沿+/-x轴和+/-y轴的四个方 向旋转。

15.如权利要求10所述的光开关，其中，所述MEMS反射镜包括一第二 驱动机构以形成一混合驱动机构，其中，所述第二驱动机构为静电式或压电 式。