[发明专利]用于衬底对准的装置及方法

权利要求书

1.一种用于使第一衬底(15)与第二衬底(15')对准及接触的方法，该方法具有以下步骤：

-将该第一衬底(15)固定于第一座架(9)上且将该第二衬底(15')固定于与该第一座架(9)相对地布置的第二座架(9')上，其中该第一衬底(15)与该第二衬底(15')布置在该第一座架(9)与该第二座架(9')之间，其中在Z方向上在该第一衬底(15)的第一接触表面与该第二衬底(15)的第二接触表面之间具有距离A，

-将所述第一座架(9)移动到在第一检测位置处的第一检测单元（11），以及将所述第二座架(9')移动到在与所述第一检测位置相对布置的第二检测位置处的第二检测单元（11'），

-检测已在X和/或Y方向上沿着第一接触表面(15o)移动的第一检测位置中的布置在该第一衬底(15)的周边区域中的第一对准标记(20')的第一X-Y位置，

-检测已在X和/或Y方向上沿着第二接触表面(15o')移动的第二检测位置中的布置在该第二衬底(15')的周边区域中的第二对准标记(20")的第二X-Y位置，

-将所述第一座架(9)移动到在所述第二检测位置处的第二检测单元（11'），以及将所述第二座架(9')移动到在与所述第一检测位置处的所述第一检测单元（11），

-检测该第二检测位置中的布置在该第一衬底(15)的周边区域中的第三对准标记(20"')的第三X-Y位置，

-检测该第一检测位置中的布置在该第二衬底(15')的周边区域中的第四对准标记(20)的第四X-Y位置，

-经由调整单元(4、4')基于已经由该检测检测到的该第一X-Y位置、该第二X-Y位置、该第三X-Y位置及该第四X-Y位置而相对于该第二衬底(15')对准该第一衬底(15)，以及

-使已相对于该第二衬底(15')对准的第一衬底(15)与该第二衬底(15')接触。

2.如权利要求1所述的方法，其中该第一对准标记(20')与该第四对准标记(20)和/或该第二对准标记(20")与该第三对准标记(20"')在该Z方向上相对地布置。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中利用用于检测该第一对准标记(20')和/或该第四对准标记(20)的第一检测单元(11)和用于检测该第三对准标记(20"')和/或该第二对准标记(20")的第二检测单元(11')，对该第一对准标记(20')与该第二对准标记(20")的检测和/或对该第三对准标记(20"')与该第四对准标记(20)的检测同时发生。