[发明专利]微米·纳米气泡发生方法，发生喷嘴，与发生装置

说明书

本发明的课题在于为了构成不仅仅仅通过不包含成核剂等的纯水，大量地发生微型·纳米气泡，进行清洁的清洗·杀菌，而且发生没有污染的微型·纳米气泡的系统，提供新的水冲击方式的微米与纳米气泡的发生方法，发生喷嘴和发生装置。本发明的发生方法利用水冲击力，该水冲击力通过从两个以上的喷射口而喷射包含溶解气体的液体，使它们相互碰撞的方式产生。另外，本发明的发生喷嘴包括中空的筒；于该筒的周向的两个以上的贯通小孔；位于上述筒的两端部分的微米与纳米气泡喷射口，该贯通小孔具有按照通过该贯通小孔的截面中心的全部延长线于上述筒的内部交叉的方式设置的结构。本发明的发生装置具有该发生喷嘴，以及可大量发生微米与纳米气泡的部件结构。

技术领域

本发明涉及利用水冲击的微米·纳米气泡的发生方法，发生喷嘴和发生装置。

背景技术

对于采用微米·纳米气泡的清洗·杀菌方法，因为是一种仅仅采用水和空气与微量的添加剂的环境负荷少的方法，所以作为代替过去的采用清洗剂，化学药剂等的化学品的清洁·杀菌的方法受到人们关注。另外，由于安全性高，故人们还探讨作为野菜，食品等的杀菌方法的适用。对于过去的微米·纳米气泡的发生方法，人们知道有气液两相流旋转方式、文丘里管方式、加压溶解法的三个方式（比如，关于气液两相流旋转方式和加压溶解法，分别参照专利文献1和专利文献2）。

但是，对于任何的发生方式，微米·纳米气泡的发生颗粒数量均是少的，不够的。另外，虽然三个方式均可简单地发生微米气泡水，但是，为了获得足够的微米·纳米气泡的发生颗粒数量，必须在微米气泡水中加入氯基，镁等的成核剂而实现发生。成核剂的混入对于半导体，食品等的清洁·杀菌的适用扩大来说，是大的妨碍，但是，在目前的状况下，非常难以采用纯水，大量地发生微米·纳米气泡。

另外，通过水和空气与微量的添加剂而发生的装置的驱动泵可采用各种方式的泵，但是由于半导体，食品等的用途，还必须要求包括驱动泵的装置结构部件完全没有金属污染的装置。比如，在没有金属污染的情况下清洗半导体的晶片等的场合，对于微米·纳米气泡发生装置所采用的泵，接液部由完全不发生金属离子的部件制作，并且喷射压力稳定，而且该压力必须在0.3～0.6MPa的范围内。

于是，作为为了避免担心由采用旋转的泵产生的污染现象，以不采用旋转的方式运送液体的泵，本发明人提出了下述装置，该装置采用接液部全部由氟树脂制成的压缩空气驱动的伸缩皮罩式缸泵（专利文献3～4）。为了实现消除污染的影响，进行清洁的清洗的目的，人们希望进行不仅泵，而且发生微米气泡的喷嘴部分均全部地采用氟树脂等，进行树脂化的技术开发。

已有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009—274045号文献

专利文献2：JP特开2008—264771号文献

专利文献3：JP特许454751号文献

专利文献4：JP特许4924907号文献。

发明内容

在已有技术中，不采用成核剂等，而仅仅通过纯水，大量地发生微米·纳米气泡这一点是极困难的，即使在添加成核剂的情况下，人们仍要求大幅度地降低其添加量。另外，如果与已有技术相比较，可使微米·纳米气泡的发生量为大量，则不仅可期待清洗·杀菌效果的大幅度的提高，而且可开展各种的用途。由此，人们强烈地希望有代替已有技术的新方式的微米·纳米气泡发生方法，与可实现该方法的微米·纳米气泡发生装置。