[发明专利]蓄电设备及其制造方法以及制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及蓄电设备及其制造方法以及制造装置、以及薄膜电容器及其制造方法以及制造装置，尤其涉及使用基本单元(具有交替层叠至少一层蓄电体膜和多层内部电极膜而形成的结构)构成的层叠型的蓄电设备、薄膜电容器的改良、和有利地制造上述层叠型蓄电设备、薄膜电容器的方法及装置。

背景技术

一直以来，在各种电子设备、电气设备中使用了电容器、二次电池等蓄电设备。而且，近年来，随着针对电子设备、电气设备的小型化的要求的提高，针对蓄电设备，也期待其结构的小型化。因此，在最近的电子设备、电气设备中，逐渐使用了具有如下结构的可应对小型化的要求的蓄电设备，该蓄电设备使用具有交替层叠至少一层蓄电体膜和多层内部电极膜而形成的结构的层叠体构成。

即，在要求小型化的电子设备、电气设备等中，作为蓄电设备的一种的电容器，例如，使用了日本特开平9－153434号公报(专利文献1)中公开那样的层叠型的薄膜电容器等。该薄膜电容器通过以下方式构成：使用将金属化膜(在作为介电体膜的树脂膜的单面上设置金属蒸镀膜而构成)以树脂膜和金属蒸镀膜交替放置的方式层叠而构成的基本单元、或将金属化膜(在树脂膜的两面上设置金属蒸镀膜而构成)和树脂膜(没有设置任何金属蒸镀膜)以树脂膜和金属蒸镀膜交替放置的方式层叠而构成的基本单元，在上述基本单元中的金属化膜的层叠方向两侧的面上，分别进一步层叠保护膜，由此形成一个薄膜电容器元件，而且，于在与上述一个薄膜电容器元件中的基本单元的层叠方向正交的方向上对应的两个侧面上，分别形成金属喷镀电极，由此构成薄膜电容器。

另外，例如在日本特开2011－181885号公报(专利文献2)等中，还提出了可进一步小型化的薄膜电容器，其通过以下方式构成：在由能以纳米级的膜厚进行成膜的蒸镀聚合膜构成的介电体膜与金属蒸镀膜的基本单元的层叠方向两侧的面上，分别层叠保护膜而形成一个薄膜电容器元件，在该一个薄膜电容器元件的对应的两个侧面上，分别形成金属喷镀电极，由此构成薄膜电容器。

总之，作为蓄电设备中的一种的以往的层叠型薄膜电容器通常通过以下方式形成：在交替层叠至少一层作为蓄电体膜的介电体膜和多层由金属蒸镀膜形成的内部电极膜而形成的结构的基本单元的层叠方向两侧的面上，分别层叠电绝缘性的保护膜而得到一个薄膜电容器元件(蓄电元件)，使用该薄膜电容器元件(蓄电元件)，在该薄膜电容器元件的对应的两个侧面上，分别形成作为外部电极的金属喷镀电极。

另外，对于这样的以往的层叠型薄膜电容器而言，通常通过基本单元中的介电体膜与金属蒸镀膜的层叠数来调节静电电容。即，对于使用层叠金属化膜而形成的基本单元构成的薄膜电容器而言，其静电电容在一个薄膜电容器元件中由在2片保护膜之间层叠的金属化膜的片数决定。因此，以往，例如对于使用了金属化膜的层叠型薄膜电容器而言，当需要所要求的静电电容的大小相互不同的多种层叠型薄膜电容器时，根据所要求的静电电容的大小差异，准备金属化膜的层叠片数相互不同的多种薄膜电容器。

然而，像这样，对于仅具有一个薄膜电容器元件并根据该一个薄膜电容器元件中的金属化膜的层叠片数(基本单元中的介电体膜与金属蒸镀膜的层叠数)的差异而可得到大小相互不同的静电电容的薄膜电容器而言，根据其结构，存在如下所述的问题。

即，对于上述薄膜电容器而言，所需要的静电电容越大，金属化膜的层叠片数越要增多，一个薄膜电容器元件的尺寸就越要增大。因此，当需要静电电容相互不同的多种薄膜电容器时，作为薄膜电容器元件制造装置(能够层叠金属化膜而得到基本单元、并且在上述基本单元的层叠方向两侧的面上分别进一步层叠保护膜、而得到一个薄膜电容器元件)、以及在上述一个薄膜电容器元件的对应的两个侧面上分别形成金属喷镀电极的金属喷镀电极形成装置，通常，可以使用在金属化膜的层叠片数最多的薄膜电容器的制造中可使用的装置。而且，通过轮流使用上述薄膜电容器元件制造装置和金属喷镀电极形成装置，从而分别制造、准备金属化膜的层叠片数最多的薄膜电容器、和金属化膜的层叠片数少于最多层叠片数的若干种薄膜电容器。因此，目标薄膜电容器的种类(静电电容)改变时，必须进行繁琐作业：变更薄膜电容器元件制造装置中的金属化膜的层叠片数的设定，以及还需要相应地变更必要设备、操作条件等。另外，由此，有可能会导致制造薄膜电容器的作业效率降低的问题。而且，还存在以下这样的不良情况：当需要难以通过现有设备制造的程度的具有更大静电电容的薄膜电容器时，需要新的设备。