[发明专利]元件安装装置及元件安装装置的校正方法

权利要求书

1.一种元件安装装置，具备：基台，将基板定位保持于安装位置；移动台，被以能够相对于该基台而沿X轴方向和Y轴方向移动的方式进行支撑；安装头，以能够拆装的方式安装于该移动台，具有吸附由元件供给装置供给的元件的吸嘴，并将吸附于所述吸嘴的元件安装到定位保持于所述安装位置的所述基板上；及识别用相机，与所述移动台一体设置，

所述元件安装装置的特征在于，

相对于所述识别用相机的光轴，对从上方识别设于所述基板的基板标记的基板识别用光路和从下方识别吸附于所述吸嘴的元件的元件识别用光路进行分割设置，

将经由所述基板识别用光路所拍摄的第一基准标记设于所述基台侧的固定位置，

将经由所述元件识别用光路所拍摄的第二基准标记设于所述安装头侧的预定位置，

所述元件安装装置具备计算单元，通过利用所述识别用相机拍摄所述第一基准标记和所述第二基准标记，根据所述第一基准标记和所述第二基准标记相对于所述识别用相机的光轴的位置关系来算出校正值。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

使所述基板识别用光路的长度和所述元件识别用光路的长度相同。

3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

使所述基板识别用光路的长度和所述元件识别用光路的长度不同，并通过中继透镜来调整焦距。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装装置，其中，

以能够与具有所述基板识别用光路的第一反射镜单元分离的方式设置具有所述元件识别用光路的第二反射镜单元，能够随着所述安装头的更换而相应地更换该第二反射镜单元。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的元件安装装置，其中，

将所述第一基准标记设于所述安装位置的固定轨道。

6.根据权利要求4所述的元件安装装置，其中，

将所述第一基准标记设于所述安装位置的固定轨道。

7.根据权利要求1～3、6中任一项所述的元件安装装置，其中，

所述安装头具备：旋转头，在圆周上具备多个所述吸嘴，并能够将这些吸嘴对准至元件安装位置和元件摄像位置；及升降装置，使对准至所述元件安装位置的所述吸嘴升降。

8.根据权利要求4所述的元件安装装置，其中，

所述安装头具备：旋转头，在圆周上具备多个所述吸嘴，并能够将这些吸嘴对准至元件安装位置和元件摄像位置；及升降装置，使对准至所述元件安装位置的所述吸嘴升降。

9.根据权利要求5所述的元件安装装置，其中，

所述安装头具备：旋转头，在圆周上具备多个所述吸嘴，并能够将这些吸嘴对准至元件安装位置和元件摄像位置；及升降装置，使对准至所述元件安装位置的所述吸嘴升降。

10.一种元件安装装置的校正方法，所述元件安装装置具备：基台，将基板定位保持于安装位置；移动台，被以能够相对于该基台沿X轴方向和Y轴方向移动的方式进行支撑；安装头，以能够拆装的方式安装于该移动台，具有吸附由元件供给装置供给的元件的吸嘴，并将吸附于所述吸嘴的元件安装到定位保持于所述安装位置的所述基板上；及识别用相机，与所述移动台一体设置，

所述元件安装装置的校正方法的特征在于包括如下步骤：

相对于所述识别用相机的光轴，对识别设于所述基板的基板标记的基板识别用光路和识别吸附于所述吸嘴的元件的元件识别用光路进行分割，

通过利用所述识别用相机并经由所述基板识别用光路和所述元件识别用光路而拍摄设于所述基台侧的第一基准标记和设于所述安装头侧的第二基准标记，求算所述第一基准标记和所述第二基准标记相对于所述识别用相机的光轴的位置关系，根据所述第一基准标记和所述第二基准标记的位置关系，算出所述吸嘴的坐标位置相对于所述第一基准标记的坐标位置的校正值，在安装元件时校正所述吸嘴的坐标位置。