[发明专利]静电耦合式非接触供电装置

说明书

本发明的静电耦合式非接触供电装置具备：供电用电极，以电绝缘方式配置在由导电材料形成并接地的固定部上；高频电源电路，对供电用电极提供高频电力；受电用电极，配置在以能够移动的方式架设于固定部的可动部上，上述受电用电极与供电用电极隔有间隔地相对而以非接触方式接收高频电力；及受电电路，对受电用电极接收到的高频电力进行转换并提供给可动部上的电气负载，在固定部与供电用电极之间形成有寄生静电电容的静电耦合区域的一部分，配置有由电绝缘材料形成并对供电用电极进行支撑的绝缘支撑体，静电耦合区域的其余部分为空隙。由此，与以往相比能够提高非接触供电的供电效率，而且能够减少电绝缘材料的使用量而削减材料费。

技术领域

本发明涉及从固定部以非接触的方式向可动部上的电气负载供电的非接触供电装置，更详细而言，涉及将电极隔有间隔地相对配置的静电耦合式非接触供电装置。

背景技术

作为生产安装有多个元件的基板的基板用作业设备，有焊料印刷机、元件安装机、回流焊机、基板检査机等，将它们通过基板搬运装置进行连接而构筑基板生产线的情况较多。上述基板用作业设备大数具备在基板的上方移动而进行预定作业的可动部，作为对可动部进行驱动的一个手段，能够使用线性电动机装置。线性电动机装置通常具备：沿着移动方向交替排列设置有多个磁体的N极及S极的轨道部件、包含具有铁心及线圈的电枢而构成的可动部。为了对以线性电动机装置为首的可动部上的电气负载供电，一直以来使用能够变形的供电用线缆。另外，近年来，为了消除由供电用线缆引起的搬运重量的增加、由金属疲劳引起的断线的风险等弊端，提出了采用非接触供电装置的方案。

作为非接触供电装置的方式，一直以来多采用使用线圈的电磁感应方式，但是最近也开始使用通过隔有间隔地相对的电极构成电容器的静电耦合式，此外也正在研究磁场共振方式等。非接触供电装置的用途不限于基板用作业设备，在其他行业的产业用设备、家电产品等的广泛领域不断扩展。在专利文献1中公开了这种非接触供电装置的一个技术例。

专利文献1所公开的能量搬运装置主要特征在于，在两个分离的能动电极间之存在电容耦合，上述电极设为较强的电位，强场的区域限定为位于上述电极间的空间。此外，权利要求2示出了能动电极与高压高频产生器耦合，电位能量向电极间的空间供给的形态。由此，能够进行远距离能量传送。专利文献1示出了静电耦合式的非接触供电技术的一例。

专利文献1：日本特表2009-531009号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，专利文献1的技术公开了非接触供电中的电极的结构等，但是没有公开能够应用于以基板用作业设备为首的产业用设备的具体结构。在现有技术中，供给电力的一侧的供电用电极隔着绝缘板、绝缘片等而绝缘地设于机台，接收电力的一侧的受电用电极也隔着绝缘物地设置。机台通常为铁、铝等金属制，通常接地而确保安全性。根据该结构，在供电用电极与机台之间形成非优选的寄生静电电容。此外，在包含机台的大地与高频电源电路之间也存在寄生静电电容。因此，当从高频电源电路向供电用电极供给电力时，泄漏电流经由寄生静电电容及机台而流出，产生电力损失。尤其是在非接触供电的对象成为可动部的结构中，对应于可动部的移动距离而供电用电极变得大型化，因此电力损失增大而供电效率显著降低。

本发明鉴于上述背景技术的问题点而作出，课题在于提供一种与以往相比能够提高非接触供电的供电效率，而且能够减少电绝缘材料的使用量而削减材料费的静电耦合式非接触供电装置。

用于解决课题的方案