[发明专利]用于接合应用的涂覆线材在审
申请号: | 201380071250.8 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN104937140A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | E.米尔克;J.沙尔夫 | 申请(专利权)人: | 贺利氏德国有限责任两合公司 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;C23C18/08;C23C30/00;C23C14/00;C23C16/00;H01L21/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 赵苏林;石克虎 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 接合 应用 线材 | ||
1.接合线材,其包含:
具有表面(15)的芯(2),
其中所述芯(2)包含选自铜和银的芯主要组分;和
至少部分地覆盖在所述芯(2)的表面(15)上的涂覆层(3),
其中所述涂覆层(3)以至少10%的量包含选自钯、铂、金、铑、钌、锇和铱的涂覆组分作为组分;
其特征在于
所述涂覆层(3)以至少10%的量包含所述芯的主要组分作为组分。
2.根据权利要求1的线材,其中所述涂覆层(3)的外部范围从0.1%的线材直径的深度延伸到0.25%的所述线材直径的深度,其中所述芯主要组分的量和所述涂覆组分的量存在于所述外部范围中。
3.根据权利要求2的线材,其中在所述外部范围中所述芯主要组分的量介于30%和70%之间。
4.根据权利要求2或3的线材,其中所述涂覆组分的量在所述外部范围内向所述线材的内部降低。
5.根据权利要求4的线材,其中在所述外部范围的径向内部边界处的涂覆组分量与在所述外部范围的径向外部边界处的涂覆组分量的差不大于30%。
6.根据前述权利要求中任一项的线材,其中所述线材的主要组分从所述线材的外部开始直至所述线材的0.25%的直径的深度处至少转变两次。
7.根据前述权利要求中任一项的线材,其中所述涂覆层(3)的外表面范围含有碳作为主要组分。
8.根据前述权利要求中任一项的线材,其特征在于在所述线材的纵向上于线材表面处测量的所述涂覆层(3)的平均粒度介于50 nm和1000 nm之间。
9.根据前述权利要求中任一项的线材,其特征在于在所述线材的纵向上于线材表面处测量的所述涂覆层(3)的平均粒度a与在所述线材的周向上于线材表面处测量的所述涂覆层(3)的平均粒度b的比率a/b介于0.1和10之间。
10.制造根据前述权利要求中任一项的线材的方法,其包括以下步骤:
a. 提供以铜或银作为主要组分的所述线材的芯前体;
b. 在所述芯前体上沉积第一辅助层,其中所述第一层包含所述芯主要组分和所述涂覆组分中的一者作为主要组分;
c. 在所述第一辅助层上沉积第二辅助层,其中所述第二层包含所述芯主要组分和所述涂覆组分各自的另一者作为主要组分;
d. 将能量引入到至少所述第一层和所述第二层中,其中所述第一层和所述第二层的材料通过所述能量的引入至少部分彼此混合。
11.根据权利要求10的方法,其中所述步骤b或步骤c通过使用由所述辅助层材料组成的箔机械包覆所述芯前体来实施。
12.根据权利要求10的方法,其中所述步骤b或步骤c通过电镀来实施。
13.根据权利要求10的方法,其中所述步骤b或步骤c通过气相沉积来实施。
14.制造根据权利要求1-9中任一项的线材的方法,其包括以下步骤:
a. 提供以铜或银作为芯主要组分的所述线材的芯前体;
b. 在所述芯前体上沉积材料以形成层,其中所沉积的材料包含至少10%的所述芯主要组分和至少10%的所述涂覆组分。
15.根据权利要求14的方法,其中通过以下措施之一来实施所述步骤b:
-使用由所述层材料组成的箔机械包覆所述芯前体;
-电镀所述材料;或者
-气相沉积所述材料。
16.根据权利要求14的方法,其中所述步骤b通过将液体的膜沉积在所述线材芯前体上来实施,其中所述液体含有涂覆组分前体,并且其中加热所沉积的膜以使所述涂覆组分前体分解成金属相。
17.根据权利要求16的方法,其中所述液体在20℃下具有大于0.4 mPa*s的动态粘度。
18.根据权利要求17的方法,其中所沉积的膜的加热在高于150℃的温度下实施。
19.根据权利要求14-18中任一项的方法,其中所述膜的沉积在所述线材的最终拉伸步骤之后实施。
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