[发明专利]基板载体配置与夹持基板的方法

说明书

技术领域

本发明的实施例一般是有关于基板的处理，且特别是有关于用以夹持将被处理的薄基板的基板载体。再者，实施例有关于夹持将被处理的基板的方法。

背景技术

薄基板处理的重要性逐渐提高，举例而言，薄玻璃片具有广泛的应用，用于使用于电子装置中的平板显示器，电子装置例如是移动电话、平板电脑、监视器及电视机。基板可被处理，以用于多种例如微电子工业中的应用，或用于提高电子及光电装置的数目。因此，各种各样的微电子、微技术、微光学、或组合的装置是基于可以合适方式处理的基板。

当增加基板的面积时，薄基板的处理尤其困难。然而，对薄基板的处理来说，仍期望高生产率、短停机时间与高产量。

发明内容

有鉴于上述内容，根据独立装置权利要求，本公开提供一种基板载体，该基板载体用于夹持具有将被处理的表面的基板。再者，根据独立方法权利要求，本公开提供一种方法，该方法用以夹持具有将被处理的表面的基板。

根据一实施例，提供一种基板载体，用以夹持具有将被处理的表面的基板，基板载体包括具有至少一个开口的第一板；以及用以至少部分地覆盖第一板的开口的第二板，其中基板夹持在第一板与第二板之间，且将被处理的基板表面透过开口露出以进行处理。

根据另一实施例，提供一种基板载体，该基板载体用以夹持具有将被处理的基板表面的基板，基板载体包括夹持板；具有框架开口的至少一个框架；以及一个或更多个磁性元件，该一个或更多个磁性元件用于通过框架与夹持板之间的磁性作用，将基板固定在夹持板与框架之间，将被处理的基板表面透过框架开口露出以进行处理。

根据又另一实施例，提供一种方法，该方法用以夹持具有将被处理的表面的基板。该方法包括：提供第一板，放置基板于第一板上，放置第二板于基板上以夹持基板于第一板与第二板之间，其中第一板与第二板其中至少一个具有开口，特别是其中第二板与第一板其中至少一个至少部分地覆盖开口，以及透过开口露出基板，以进行工艺。

根据又另一实施例，提供一种方法，该方法用以夹持具有将被处理的表面的基板。该方法包括提供具有至少一个开口的第一板；提供至少一个第二板；以第二板至少部分地覆盖第一板的开口，其中基板位于第一板与第二板之间；以及透过开口露出将被处理的基板表面。

附图说明

为了可详细地了解本发明的上述的特性，以上简要概述的本发明的更特定的说明可参照数个实施例。所附的图式是有关于本发明的数个实施例，且于下述中说明：

图1示意性地显示形成有沟槽的基板载体板，沟槽用以容纳将被处理的两个基板；

图2显出具有沟槽与插入缝隙的基板载体板以提供有效率的薄基板的处理；

图3绘示具有第一基板载体板与两个第二基板载体板的基板载体配置，其中将被处理的基板夹持在第一基板载体板与第二基板载体板之间，基板载体配置是从背侧显示；

图4是图3的基板载体配置从沉积侧的立体图；

图5是显示在图3中的基板载体配置的立体图，其中已插入两个将被处理的基板；

图6为根据其他实施例的基板载体配置的示意性立体图，基板载体配置包括安装铰链的基板载体板；

图7是显示在图6中的基板载体配置的侧面剖视图；

图8是又另一实施例的从处理侧看的基板载体配置，其中有使用磁性框架；

图9显示图8中示出的基板载体配置的背侧；以及

图10是图示用于夹持具有将被处理的表面的基板的方法的流程图。

具体实施方式

现在将要详细地说明本发明的不同实施例，其一个或更多个例子绘示在图示中。以下图示的说明当中，相同的参考号码表示相同的元件。一般而言，只描述有关于各别实施例的差异处。各个例子是以解释本发明的方式被提供，而非用以限定本发明。再者，解释或描述为一实施例的部分的特征可使用在其他实施例或与其他实施例结合以产生其他的实施例。可以包括这种润饰与变形的描述。

于以下说明中，所描述的实施例特别关于基板载体配置，其允许夹持薄基板，例如但不限于聚对苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate；PET)基板。根据一典型的实施例，根据所述的实施例的基板载体配置可用于薄的片体或基板，例如PET薄片，具有范围从0.1mm至0.2mm的厚度。基板载体配置可用在为厚度范围从0.3mm至1.1mm的玻璃片所设计的玻璃片机械中。将被处理的薄基板可包括塑胶或薄玻璃基板。PET塑胶薄片可用于移动装置中的抗反射应用，移动装置例如是移动电话、平板电脑等，例如薄显示器。