[发明专利]吸附装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于吸附并保持基板的吸附装置。

背景技术

当在基板制造工艺中处理基板时，使用对基板那样的板材进行吸附保持的吸附装置(例如参照专利文献1)。在专利文献1那样的吸附装置中，通过吸引空气而利用负压对板材进行吸附保持。详细而言，专利文献1的吸附装置包括能在进行吸引的孔内自由移动的阀芯，该阀芯利用在重力作用下进行的动作，来实现用负压对板材的保持。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005－28489号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，上述那样利用重力作用的方式，仅能在吸引孔朝向下方的情况下使用。当将板材设于上侧而朝向上方时，阀芯因重力而下降，会将负压室与板材之间封闭，从而无法对板材进行吸引保持。

本发明是在考虑上述现有技术后进行而做成的，其目的在于提供一种无论空气对作为吸附对象物的板材(基板)的吸引方向为何种朝向，都能可靠地对吸附对象物进行吸引保持的吸附装置。

解决技术问题所采用的技术方案

为了实现上述目的，在本发明中，提供一种吸附装置，其特征是，包括：吸附部，上述吸附部与吸附对象物抵接，并形成有多个吸引孔；侧壁及顶壁，上述侧壁及顶壁与该吸附部协同作用而形成大致密闭的负压室；销形状的阀芯，上述阀芯从上述负压室延伸到上述吸引孔内；以及封闭部，上述封闭部因该阀芯在上述吸引孔内滑动而使上述阀芯的一部分与上述吸引孔的内壁的一部分紧密接触，来将上述吸引孔封闭，上述阀芯具有位于上述负压室内的一方的端部、即根部，该根部固定在具有挠性的板形状的挠性体上，上述挠性体在上述负压室内跨设并固定在上述侧壁间，上述挠性体具有多个通孔。

理想的是，在上述吸附对象物侧露出的上述吸引孔的开口部的孔径为2mm以下。

理想的是，上述吸引孔的轴线间的间隔为3mm以下。

发明效果

根据本发明，由于将阀芯形成为销形状，并将该阀芯的根部固定在负压室内，因此，阀芯不会因重力而在吸引孔内自由移动。因而，无论空气对作为吸附对象物的板材(基板)的吸引方向为何种朝向，都能防止阀芯因重力而发生移动来使吸引孔被封闭部封闭。因而，能够可靠地对吸附对象物进行吸引保持。另外，即使吸附对象物存在与吸引孔连通而与吸附对象物的外部连通的部分(连通部)，由于阀芯的根部被固定在具有挠性的挠性体上，因此，在进行吸引时，挠性体发生挠曲而使阀芯移动，利用封闭部将该吸引孔封闭，因而，能够维持负压室内的负压而可靠地对吸附对象物进行吸引保持。另外，由于在挠性体中设置有多个通孔，因此负压室不会被挠性体封闭，能够可靠地确保从吸引泵到吸引孔的吸引路径，仍然能够可靠地对吸附对象物进行吸引保持。

另外，通过将开口部的孔径设置为2mm以下，能够减小各吸引孔的吸附力。因此，即使将吸附对象物层叠，而使吸引孔与位于更外侧的其它吸附对象物经由上述连通部相通，也不会对其它吸附对象物进行吸引。因而，能提高处理性。另外，确认到通过形成为这种小径的吸引孔，即使是较薄的玻璃基板，也不会产生经过吸引孔而带来的吸引痕迹。

另外，通过将吸引孔的轴线间的间隔设置为3mm以下，使吸引孔变得密集。确认到通过形成为这种间隔，即使吸附对象物存在许多个上述连通部，也能将本发明应用于该吸附对象物而对该吸附对象物进行吸引保持。

附图说明

图1是表示本发明的吸附装置的一例的示意图。

图2是表示本发明的吸附装置的一例的放大示意图。

图3是吸附部的示意图。

具体实施方式

如图1及图2所示，本发明的吸附装置1具有吸附部2、侧壁3及顶壁4。在本例中，吸附部2是将片材5、6、7层叠而形成的三层结构。在各片材5、6、7上形成有多个贯穿该片材5、6、7的通孔，这些通孔彼此连通而形成吸引孔8。因而，在吸附部2中形成有多个吸引孔8。片材5、6例如由丙烯酸制的板材形成。片材7由于与所要吸引保持的作为吸附对象物的基板9抵接，因此，理想的是橡胶制的橡胶片。