[发明专利]表面被覆部件及其制造方法

权利要求书

1.一种表面被覆部件，包括基体部件以及在其表面上形成的硬质覆膜，

所述硬质覆膜由一层或者多层构成，

所述层中的至少一层由CVD法形成，并且包括具有交替层叠的第一单元层和第二单元层的多层结构，

构成所述第一单元层的第一化合物为TiC、TiN、TiCN、TiNO、TiCNO、TiB₂、TiO₂、TiBN、TiBNO或TiCBN，

构成所述第二单元层的第二化合物为Al₂O₃、AlN、AlCN、AlCNO或AlNO，

其中所述第一化合物具有fcc型晶体结构，所述第二化合物具有hcp型晶体结构。

2.根据权利要求1所述的表面被覆部件，其中

所述第一单元层和所述第二单元层之间包括中间层，并且

所述中间层的组成在其厚度方向上由所述第一化合物的组成向所述第二化合物的组成连续变化。

3.一种制造根据权利要求1或2所述的表面被覆部件的方法，所述表面被覆部件包括基体部件、以及形成于其表面上并且由一层或多层构成的硬质覆膜，所述方法包括：

通过CVD法形成所述层中的至少一层的CVD步骤，

所述CVD步骤包括：

将第一气体喷射至所述基体部件的表面的第一步骤，其中该第一气体包含Ti以及选自由B、C、N和O所构成的组中的一种或多种元素；以及

将第二气体喷射至所述基体部件的表面的第二步骤，其中该第二气体含有Al以及选自由B、C和N所构成的组中的一种或多种元素，

交替重复进行所述第一步骤和所述第二步骤。

4.根据权利要求3所述的制造表面被覆部件的方法，其中所述第一气体包含选自由N₂、NH₃和N₂H₄构成的组中的至少一种。

5.根据权利要求3或4所述的制造表面被覆部件的方法，其中所述第二气体包含选自由N₂、NH₃和N₂H₄构成的组中的至少一种。