[发明专利]半导体光集成电路在审

专利信息
申请号: 201380068141.0 申请日: 2013-12-10
公开(公告)号: CN104871379A 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: 水村通伸 申请(专利权)人: 株式会社V技术
主分类号: H01S5/026 分类号: H01S5/026;H01L31/10;H01L33/02;H01S5/50
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 吕琳;杨生平
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体 集成电路
【权利要求书】:

1.一种半导体光集成电路,其特征在于,

所述半导体光集成电路具备:半导体基板、形成于所述半导体基板,且沿着信号传输路径连续延设的pn接合部、形成于所述pn接合部上的一部分的发光功能部、以及形成于与所述发光功能部连续的所述pn接合部上的光波导部,

所述发光功能部向所述pn接合部供给驱动电流,由该pn接合部产生光信号,

所述光波导部通过被供给于所述pn接合部的放大电流,一边放大所述光信号,一边传输所述光信号。

2.根据权利要求1所述的半导体光集成电路,其特征在于,

所述pn接合部是通过一边向第2半导体层照射光,一边实施退火处理而获得的,所述第2半导体层是在所述半导体基板中的第1半导体层以高浓度掺杂杂质而获得的。

3.根据权利要求2所述的半导体光集成电路,其特征在于,

所述半导体基板为Si基板,

所述第1半导体层为在所述半导体基板掺杂15族元素的n型半导体层,

所述第2半导体层为掺杂13族元素作为所述杂质的p型半导体层。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的半导体光集成电路,其特征在于,

所述发光功能部设置于所述pn接合部上的一端侧,在该pn接合部上的另一端侧设置有受光功能部。

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