[发明专利]温度控制装置

权利要求书

1.一种温度控制装置，其通过将被调温后的循环流体向等离子体蚀刻装置的腔室供给并使其循环，将所述腔室控制到目标温度，其特征在于，具有：

循环冷却加热部，其将循环流体冷却、加热，并且在其与所述腔室之间使循环流体循环；

控制部，其调节循环流体的温度而将所述腔室的温度控制到目标温度；

框体，其收纳循环冷却加热部及控制部，

在所述框体内，将配置所述循环冷却加热部的循环室和配置所述控制部的控制室设置在同一平面上，

在所述循环室至少配置有分别构成所述循环冷却加热部的、贮存循环流体的罐、使循环流体循环的泵、将循环流体冷却的热交换器以及将循环流体加热的加热装置，

在所述控制室至少配置有分别构成所述控制部的、控制所述泵的驱动的变换器及对所述加热装置的接通断开进行切换的切换装置。

2.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，

所述框体具有将内部分隔成所述循环室和所述控制室的分隔面板，

所述泵在所述循环室与所述分隔面板接近配置，

所述变换器在所述控制室安装于所述分隔面板上，

在所述循环室内，使从所述框体的外部吸入冷却空气的吸入风扇位于俯视观察下的所述分隔面板的一端侧而设置，并且使将被吸入的冷却空气向所述框体的外部排出的排出风扇位于所述分隔面板的一端侧而设置。

3.如权利要求1或2所述的温度控制装置，其特征在于，

所述循环室位于接近所述等离子体蚀刻装置的一侧，所述控制部位于从所述等离子体蚀刻装置离开的一侧。

4.如权利要求1～3中任一项所述的温度控制装置，其特征在于，

所述框体具有设有与所述循环室对应的底座的底部面板。

5.如权利要求1～4中任一项所述的温度控制装置，其特征在于，

在所述框体上面部的与所述控制室对应的位置设有操作面板。